[实用新型]正交双源双探测器X射线显微镜系统

说明书

本实用新型公开一种正交双源双探测器X射线显微镜系统，包括：底座；可移动式设置在底座中部的载物台；可移动式设置的第一射线源组件和第一探测器组件，第一探测器接收由第一射线源形成的扫描图像；固定的第二射线源组件和可移动式设置的第二探测器组件，第二探测器接收由第二射线源形成的扫描图像。通过本实用新型方案，两种焦点尺寸的射线源处于同一平台，实现不同的放大效果，为各种尺寸试件的CT检测提供了一个完整的平台，满足对空间分辨率、工件大小、设备数量的不同要求；可以使用一套控制系统，一套采集分析软件，成本低，效果佳，维护成本低，数据直观。

技术领域

本实用新型涉及X射线显微成像技术领域，尤其涉及一种正交双源双探测器X射线显微镜系统。

背景技术

工业CT(Industrial Computerized Tomography，工业用计算机断层成像技术)是指应用于工业中的核成像技术。其能在对检测物体无损伤条件下，以二维断层图像或三维立体图像的形式，清晰、准确、直观地展示被检测物体的内部结构、组成、材质及缺损状况，被誉为当今最佳无损检测和无损评估技术。

工业CT是在射线检测的基础上发展起来的，其基本原理是当经过准直且能量I₀射线束穿过被检物时，根据各个透射方向上各体积元的衰减系数不同，探测器接收到的透射能量I也不同。按照一定的图像重建算法，即可获得被检工件截面一薄层无影像重叠的断层扫描图像，重复上述过程又可获得一个新的断层图像，当测得足够多的二维断层图像就可重建出三维图像。

目前，主流的CT检测系统由三部分组成，分别是射线源、载物台和探测器。在射线源和探测器的布置上有两个主要模式。其中，模式一中，载物台为整个系统的中心固定不动，射线源和探测器可以前后移动，改变相对于载物台的距离，实现工件的放大成像拍摄。在模式一种，载物台可以承受较大载荷通常在50kg左右，实现大工件的检测，但几何放大倍数有限，一般为50倍，因此用于工件的粗略检测。

模式二中，射线源位置固定，光路方向固定，而探测器和载物台前后移动，来改变放大倍数，提高空间分辨率。将工件尽量靠近射线源，探测器尽量远离射线源，在理想状态下可以得到非常大的放大倍数，例如放大倍数可以达到200倍，可以非常好的拍摄微小缺陷。

但是，无论模式一，还是模式二，不能满足较大范围的产品检测需求，不能实现快速检测和高精度检测的协调统一。

实用新型内容

本实用新型公开一种正交双源双探测器X射线显微镜系统，用于解决现有技术中，不能满足较大范围的产品检测需求，不能实现快速检测和高精度检测的协调统一的问题。

为了解决上述问题，本实用新型采用下述技术方案：

提供一种正交双源双探测器X射线显微镜系统，包括：

底座，所述底座上方设有沿第一方向延伸且包括两组滑块的第一滑块导轨、分别位于所述第一滑块导轨两侧且沿第二方向延伸的第二滑块导轨和第三滑块导轨、两个驱动所述第一滑块导轨的不同组滑块的第一驱动件、驱动所述第二滑块导轨的第二驱动件，以及驱动所述第三滑块导轨的第三驱动件，其中所述第二方向与所述第一方向垂直；

载物台，所述载物台包括与所述第一滑块导轨的滑块固定连接的台体、固定在所述台体上方的第四滑块导轨、与所述第四滑块导轨的滑轨固定连接的承载板和驱动所述第四滑块导轨的第四驱动件，其中所述第四滑块导轨沿所述第二方向延伸，所述承载板固定工件；

第一射线源组件，所述第一射线源组件包括与所述第二滑块导轨的滑块固定连接的第一支架和设置在所述第一支架上的第一射线源；

第一探测器组件，所述第一探测器组件包括与所述第三滑块导轨的滑块固定连接的第二支架和设置在所述第二支架上的第一探测器，所述第一探测器接收由所述第一射线源形成的扫描图像；