[实用新型]一种新型一体式斜槽硅舟

权利要求书

1.一种新型一体式斜槽硅舟，其特征在于，包括硅舟基体和设在硅舟基体上的沟齿槽，硅舟基体包括底板和与底板相连的侧板，侧板包括对称布置在底板两侧的第一侧板和第二侧板，侧板远离底板的一端设有限位件，侧板靠近底板的一端设有支撑件，限位件和支撑件均位于侧板内侧，沟齿槽包括限位沟齿槽和支撑沟齿槽，若干个限位沟齿槽沿限位件的长度方向间隔布置，若干个支撑沟齿槽沿支撑件的长度方向间隔布置，朝同一方向倾斜的限位沟齿槽和支撑沟齿槽配合形成支撑槽，沟齿槽的截面呈“Y”型，沟齿槽沿其槽深方向包括放置段和承载段，放置段的截面呈喇叭状，放置段沿侧板的厚度方向包括大端和小端，小端与承载段连通。

2.根据权利要求1所述一种新型一体式斜槽硅舟，其特征在于，若干个沟齿槽沿侧板的长度方向等间隔排布，沟齿槽的对称中心线与侧板的法线之间的夹角为α。

3.根据权利要求1所述一种新型一体式斜槽硅舟，其特征在于，底板远离侧板的端面上设有支脚，支脚上设有定位槽，支脚包括第一支脚和第二支脚，第一支脚、第二支脚的对称面与第一侧板、第二侧板的对称面重合。

4.根据权利要求1或2或3所述一种新型一体式斜槽硅舟，其特征在于，侧板上设有镂空窗口，镂空窗口位于限位件与支撑件之间。

5.根据权利要求1或2或3所述一种新型一体式斜槽硅舟，其特征在于，所述硅舟的制备材料为高纯度的直拉法多晶硅。

6.根据权利要求1或2或3所述一种新型一体式斜槽硅舟，其特征在于，限位件、侧板、支撑件和底板为一体成型结构。

7.根据权利要求2所述一种新型一体式斜槽硅舟，其特征在于，所述α为3°，所述放置段的开口角度为60°。