[实用新型]一种投影镜头的工作距离和成像倍率自动校准装置

说明书

本实用新型公开了一种投影镜头的工作距离和成像倍率自动校准装置，属于光刻机技术领域，包括镜头筒、调节机构、工业相机和后台终端，所述镜头筒的内部顶端安装投影镜头，内部中端安装可调镜片，所述可调镜片由所述调节机构控制升降，所述工业相机安装在镜头筒的下方且所述工业相机与所述镜头筒的镜头下端面固定，所述工业相机、所述可调镜片和所述投影镜头处于同一轴线上，所述工业相机与所述后台终端之间信号连接，所述后台终端安装有驱动所述调节机构的电路模块。通过工业相机采集投影镜头的成像效果和倍率上传给后台终端，后台终端再利用调节机构调节可调镜片改变成像效果和倍率满足使用需求，从而实现自动校准的效果。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种投影镜头的工作距离和成像倍率自动校准装置。

背景技术

随着信息技术的发展，光学技术越来越多的影响到人们的生活，与之相关的光刻技术也越来越多的应用到更多的领域中，诸如PCB(印刷电路板)和IC(集成电路)制造等行业对该技术也越来越关注，光刻实质上是一个图形转移的过程，即把设计好的图形无偏差地复制到基片上，其中包含一系列的工艺流程：硅片预处理、涂胶、前烘、曝光、显影、后烘、刻蚀、去胶和套刻等，各工艺环节环环相扣，密不可分，在主流的集成电路制造过程中，光刻是最复杂和最关键的工艺，而投影镜头便是光刻工艺的主要显像设备。

传统的光刻工艺中使用的投影镜头为了满足光刻需要，需要在事先进行校准，校准有成像效果校准和成像倍率校准，但是大多数校准方式一般通过人眼来判断效果，根据手动调节镜头筒的高度从而使成像满足使用需求，但是该调节方式，精度低，操作麻烦容易出现误差，无法满足实际应用。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述投影镜头在调节工作距离和成像倍率时不方便，精度低误差大的问题而提供一种投影镜头的工作距离和成像倍率自动校准装置，具有通过电动调节，精度高，误差小，可多个投影镜头同步调节，校准效率高，满足使用需求的优点。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种投影镜头的工作距离和成像倍率自动校准装置，包括镜头筒、调节机构、工业相机和后台终端，所述镜头筒的内部顶端安装投影镜头，内部中端安装可调镜片，所述可调镜片由所述调节机构控制升降，所述工业相机安装在镜头筒的下方且所述工业相机与所述镜头筒的镜头下端面间距固定，所述工业相机、所述可调镜片和所述投影镜头处于同一轴线上，所述工业相机与所述后台终端之间信号连接，所述后台终端安装有驱动所述调节机构的电路模块。

优选的，所述调节机构包括活动连接在镜头筒内壁的调节柱，可调镜片固定在调节柱的内部且与调节柱同轴心。

优选的，所述镜头筒内壁开设内螺纹槽，调节柱外壁与内螺纹槽螺纹连接。

优选的，所述镜头筒分为两段通过至少两根支撑杆连接，相邻支撑杆之间的空隙为调节柱的活动区域，调节柱的侧壁设有连接栓，连接栓穿过该活动区域与外齿轮圈固定连接，外齿轮圈与步进电机驱动的丝杆啮合，且步进电机与后台终端的电机驱动模块电性连接。

优选的，所述外齿轮圈的厚度大于支撑杆的长度。

优选的，所述步进电机安装在固定底座上，固定底座分为两个弧形块卡装在镜头筒的外壁并通过连接螺栓固定。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过工业相机采集投影镜头的成像效果和倍率上传给后台终端，后台终端再利用调节机构调节可调镜片改变成像效果和倍率满足使用需求，从而实现自动校准的效果。

2、调节机构采用螺纹升降，且与步进电机之间采用齿轮啮合传动的方式，调节更加稳定可靠，传动部分位于镜头筒外部也方便检修。

附图说明

图1为本实用新型的整体装置结构示意图。

图2为本实用新型的调节机构结构示意图。