[实用新型]一种退火炉温度检测装置有效
申请号: | 202022002190.4 | 申请日: | 2020-09-14 |
公开(公告)号: | CN213680800U | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 董超 | 申请(专利权)人: | 沈阳雄信半导体材料有限公司 |
主分类号: | C21D9/00 | 分类号: | C21D9/00;C21D1/26;C21D11/00 |
代理公司: | 沈阳天赢专利代理有限公司 21251 | 代理人: | 刘阳 |
地址: | 110000 辽宁省沈阳市沈*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 退火炉 温度 检测 装置 | ||
1.一种退火炉温度检测装置,包括退火炉主体(1),其特征在于,所述退火炉主体(1)由安装于地面上的底座(101),固定于底座(101)上的矩形箱体结构的炉壁(102),安装于炉壁(102)开口一侧的滑移密封门(103)以及装配于底座(101)上可滑移的台车(104)组成,所述炉壁(102)的三面侧壁以及顶壁上分别设有若干测量点(2)且位于同一壁面上的测量点(2)间设有组合式测温机构;
所述组合式测温机构包括:若干测量点(2)、隔热条(3)、两对螺纹杆(4)、若干固定座(5)、若干测温传感器(6)、走线槽(7)以及同轴电缆(8);
所述炉壁(102)顶壁上开设有矩形槽,所述矩形槽分别连结同一壁面上的若干测量点(2),所述隔热条(3)嵌装于矩形槽内且位于若干测量点(2)位置分别开设有若干测量槽,所述隔热条(3)两侧分别设有两对螺纹杆(4)与矩形槽内壁螺纹连接,若干所述固定座(5)嵌装于若干所述测量槽上,若干所述测温传感器(6)安装于固定座(5)上且与测量点(2)接触,所述隔热条(3)上开设有走线槽(7),所述走线槽(7)内设有同轴电缆(8)分别与若干测温传感器(6)连接。
2.根据权利要求1所述的一种退火炉温度检测装置,其特征在于,若干所述测量点(2)均为嵌装于炉壁(102)内与炉壁(102)内连通且露出炉壁(102)外侧的导热块。
3.根据权利要求2所述的一种退火炉温度检测装置,其特征在于,若干所述测量点(2)在同一侧壁面上呈线性阵列排布。
4.根据权利要求1所述的一种退火炉温度检测装置,其特征在于,若干所述固定座(5)上分别设有若干通孔,所述测量槽上开设有若干螺纹孔,若干所述通孔内贯通有若干定位螺栓(9)螺纹连接于若干所述螺纹孔内。
5.根据权利要求4所述的一种退火炉温度检测装置,其特征在于,若干所述固定座(5)均为承口型结构,与之匹配的若干所述测量槽均为承口型凹槽。
6.根据权利要求1所述的一种退火炉温度检测装置,其特征在于,所述隔热条(3)以及若干固定座(5)均为隔温材质的板块。
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