[实用新型]一种具有自动输送功能的真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种具有自动输送功能的真空镀膜机，包括机体，所述机体的前端固定安装有控制按钮，所述机体的上端固定安装有顶盖，所述机体的右端固定设置有进料槽，所述进料槽的内部固定安装有输送辊，所述输送辊呈等距分布，所述输送辊的外端固定安装有橡胶套，所述橡胶套的外端固定设置有防滑斜纹，所述机体的上端固定安装有镀膜室，所述镀膜室位于顶盖的下侧，所述镀膜室的前端固定设置有观察槽，所述镀膜室的上端固定安装有涡轮分子泵。该具有自动输送功能的真空镀膜机，不需要工作人员进行繁琐的操作，便捷性和连续性强，可以自动完成加工和出料操作，自动化程度高，不会造成能源和材料的浪费，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种具有自动输送功能的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。

然而目前常用的真空镀膜机，往往便捷性和连续性不强，需要工作人员进行繁琐的操作，不具有自动输送功能，自动化程度还有很大提高空间，实用性差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有自动输送功能的真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出目前常用的真空镀膜机，往往便捷性和连续性不强，需要工作人员进行繁琐的操作，不具有自动输送功能，自动化程度还有很大提高空间，实用性差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有自动输送功能的真空镀膜机，包括机体，所述机体的前端固定安装有控制按钮，所述机体的上端固定安装有顶盖，所述机体的右端固定设置有进料槽，所述进料槽的内部固定安装有输送辊，所述输送辊呈等距分布，所述输送辊的外端固定安装有橡胶套，所述橡胶套的外端固定设置有防滑斜纹，所述机体的上端固定安装有镀膜室，所述镀膜室位于顶盖的下侧，所述镀膜室的前端固定设置有观察槽，所述镀膜室的上端固定安装有涡轮分子泵。

优选的，所述镀膜室的内部固定安装有旋转电机，所述旋转电机传动端的外端固定安装有传动带，所述旋转电机通过传动带与输送辊活动连接，所述镀膜室的左端固定安装有热交换机。

优选的，所述热交换机的右端固定安装有冷却管，所述冷却管位于镀膜室的内部，所述冷却管的右端固定安装有蒸发器，所述蒸发器的下端固定安装有靶材，所述传动带的下侧位于镀膜室的内部固定安装有下料腔，所述下料腔延伸至机体的左端。

优选的，所述涡轮分子泵的下端固定连接有抽气管，所述抽气管位于镀膜室的内部，所述抽气管的下端固定安装有电磁阀，所述抽气管的右侧位于镀膜室的内部固定安装有气压传感器，所述气压传感器的右端固定安装有控制器一，所述控制器一与电磁阀电性连接。

优选的，所述镀膜室的外端位于传动带的下端固定安装有密封圈，所述机体的内部固定安装有磁致位移传感器一，所述磁致位移传感器一的上端固定安装有控制器二，所述传动带的侧端固定安装有第一磁环，所述控制器二与蒸发器电性连接。

优选的，所述下料腔的内部固定安装有承托板，所述承托板的下端固定安装有滑块，所述下料腔的内部固定设置有滑槽，所述滑槽与滑块相适配，所述承托板的下端固定连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的下端固定安装有伸缩套管，所述伸缩套管的右侧位于下料腔的内部固定安装有电动推杆，所述承托板的前端固定安装有第二磁环，所述电动推杆的外端固定安装有磁致位移传感器二，所述磁致位移传感器二的右端固定安装有控制器三，所述控制器三与电动推杆电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该具有自动输送功能的真空镀膜机，通过安装气压传感器，可以实时监测镀膜室内部气压，由控制器一自动开启或关闭电磁阀，大大提高了装置的自动化程度；