[实用新型]六氟化硫气体中杂质富集装置

权利要求书

1.一种六氟化硫气体中杂质富集装置，其特征在于包括冷却装置，冷却装置包括冷却室以及位于冷却室内的半导体制冷器，在冷却室上分别设置有待冷却气体进口、清洗进口、冷却后气体出口，在冷却室的底部设置有样品收集口，在待冷却气体进口连通有待冷却管线，在待冷却管线上自气体输送方向依序设置有气体阀门一和质量流量计，在清洗进口连通有清洗管线，在清洗管线进口端分别连通有液体清洗管线和氮气清洗管线，在冷却后气体出口连通有冷却后管线，在冷却后管线上设置有气体阀门二，在样品收集口连通有收集管线，在收集管线、液体清洗管线和氮气清洗管线上均设置有阀门。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫气体中杂质富集装置，其特征在于待冷却管线的进口端固定安装有快速接头。

3.根据权利要求1或2所述的六氟化硫气体中杂质富集装置，其特征在于气体阀门一和气体阀门二均为气体用电磁阀。

4.根据权利要求1或2所述的六氟化硫气体中杂质富集装置，其特征在于冷却室的底部呈漏斗状。

5.根据权利要求3所述的六氟化硫气体中杂质富集装置，其特征在于冷却室的底部呈漏斗状。

6.根据权利要求1或2所述的六氟化硫气体中杂质富集装置，其特征在于收集管线出口端设置有样品收集器。

7.根据权利要求3所述的六氟化硫气体中杂质富集装置，其特征在于收集管线出口端设置有样品收集器。

8.根据权利要求4所述的六氟化硫气体中杂质富集装置，其特征在于收集管线出口端设置有样品收集器。

9.根据权利要求5所述的六氟化硫气体中杂质富集装置，其特征在于收集管线出口端设置有样品收集器。