[实用新型]一种具有多层过滤结构的金属靶材用浆料沉化设备

说明书

本实用新型公开了一种具有多层过滤结构的金属靶材用浆料沉化设备，包括入料口和离心盘，所述入料口底部连接有过滤箱，且过滤箱左侧外端安置有液压箱，所述液压箱右侧设置有推杆，且推杆末端连接有推动座，所述推动座右侧设置有第一过滤网，且第一过滤网右侧安置有通水管道，所述通水管道外侧两端连接有喷水口，且通水管道右侧安置有第二过滤网，该具有多层过滤结构的金属靶材用浆料沉化设备，第一过滤网的网眼直径较大，能对浆料中的物料大颗粒进行过滤，第二过滤网的网眼较小，能对浆料中比较细微的杂质进行过滤，从而能提升制作的金属靶材的纯度，通过第一过滤网和第二过滤网的多层过滤，能使金属靶材的品质得到提升。

技术领域

本实用新型涉及金属靶材技术领域，具体为一种具有多层过滤结构的金属靶材用浆料沉化设备。

背景技术

金属靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，金属靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，而金属靶材需要通过浆料在浆料沉化设备内部沉化进行制备，浆料品质的优劣影响到制备的金属靶材质量。

而目前市面上有很多类型的金属靶材用浆料沉化设备过滤效果不好，这会导致浆料内部的杂质随着浆料一同进行沉化，从而导致制备的金属靶材质量较差，针对上述情况，我们推出了具体为一种具有多层过滤结构的金属靶材用浆料沉化设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有多层过滤结构的金属靶材用浆料沉化设备，以解决上述背景技术中提出一般的金属靶材用浆料沉化设备过滤效果不好，这会导致浆料内部的杂质随着浆料一同进行沉化，从而导致制备的金属靶材质量较差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有多层过滤结构的金属靶材用浆料沉化设备，包括入料口和离心盘，所述入料口底部连接有过滤箱，且过滤箱左侧外端安置有液压箱，所述液压箱右侧设置有推杆，且推杆末端连接有推动座，所述推动座右侧设置有第一过滤网，且第一过滤网右侧安置有通水管道，所述通水管道外侧两端连接有喷水口，且通水管道右侧安置有第二过滤网，所述过滤箱右侧底部连接有排污管道，且过滤箱右侧底部连接有出料口，所述出料口底部设置有第一阀门，且出料口底部安置有离心罐，所述离心罐顶部中端设置有第二阀门，且离心罐底部外侧连接有固定块，所述离心盘安置于固定块底部，且离心盘底部设置有固定座，所述离心盘内侧中端安置有转轴，且转轴底部连接有电机，所述电机外侧两端设置有固定杆，且固定杆远离电机一侧安置有支撑座。

优选的，所述过滤箱通过入料口构成连通状结构，且过滤箱与液压箱之间呈固定连接。

优选的，所述推动座外表面与过滤箱内表面相贴合，且推动座与过滤箱之间呈活动连接。

优选的，所述第一过滤网与第二过滤网之间呈平行状分布，且第一过滤网与第二过滤网沿通水管道竖直中心线对称分布。

优选的，所述离心罐与固定块之间呈卡合连接，且固定块与离心盘之间呈螺纹连接。

优选的，所述离心盘下表面与固定座上表面相贴合，且离心盘通过转轴构成转动结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该具有多层过滤结构的金属靶材用浆料沉化设备，通过液压箱内部液压油的流动，能使推杆带动推动座进行移动，通过推动座的移动，能对进入过滤箱内部的浆料进行推动挤压，这能避免浆料堆积在过滤箱内部造成堵塞，同时也能使浆料加速通过过滤网，这有利于提升金属靶材制备速率。

该具有多层过滤结构的金属靶材用浆料沉化设备，第一过滤网的网眼直径较大，能对浆料中的物料大颗粒进行过滤，这能使浆料的质地更简单细腻，第二过滤网的网眼较小，能对浆料中比较细微的杂质进行过滤，从而能提升制作的金属靶材的纯度，通过第一过滤网和第二过滤网的多层过滤，能使金属靶材的品质得到提升，这有利于提升设备的加工质量。