[实用新型]石墨片组件以及石墨舟有效

专利信息
申请号: 202021974138.9 申请日: 2020-09-10
公开(公告)号: CN213459669U 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 李时俊;张勇;邓金生;王凯;彭亚萍 申请(专利权)人: 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L31/18
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 林明校
地址: 518118 广东省深圳市坪山*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 石墨 组件 以及
【说明书】:

实用新型公开了石墨片组件以及石墨舟,其中,该石墨片组件包括石墨片本体,石墨片本体上具有用于放置硅片的放置空间,石墨片本体上设置有卡点组,卡点组用于支撑并定位硅片,卡点组包括多个卡点且至少包括:第一卡点,设置在放置空间的左右方向的一侧;第二卡点,设置在放置空间的左右方向的另一侧,在上下方向高于第一卡点;第三卡点,设置在放置空间的下部,且在左右方向位于靠近第一卡点的一侧;第四卡点,设置在放置空间的下部,且在左右方向位于靠近第二卡点的一侧,并且,在上下方向低于第三卡点。根据本实施例的石墨片组件,不仅能够牢固地支撑并定位硅片,且能够防止硅片从石墨舟掉片,以及至少一定程度上防止硅片绕镀。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片制造技术领域,特别涉及石墨片组件以及石墨舟。

背景技术

在太阳能电池片的制造工艺中,在硅片表面加镀减反射膜是太阳能电池制造过程中非常重要的一环,石墨舟作为PECVD工艺的载体,在光伏产业中应用广泛。随着光伏行业的发展,源硅片也逐渐大规格化、薄片化。然而,随着硅片的大规格化、薄片化,硅片在已知的石墨舟中工艺时,由于石墨舟运载或者硅片加热翘曲等原因,硅片有可能从石墨舟上掉片。此外,由于硅片的受热变形等,容易产生绕镀等工艺的不良。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决已知技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型提出了一种石墨片组件,能够防止硅片从石墨舟上掉片,以及至少一定程度上防止硅片绕镀。此外,本实用新型还提出了具有该石墨片组件的石墨舟。

根据本实用新型第一方面实施例的石墨片组件,包括石墨片本体,所述石墨片本体上具有用于放置硅片的放置空间,所述石墨片本体上设置有卡点组,所述卡点组用于支撑并定位所述硅片,所述卡点组至少包括:第一卡点,设置在所述放置空间的左右方向的一侧;第二卡点,设置在所述放置空间的左右方向的另一侧,在上下方向高于所述第一卡点;第三卡点,设置在所述放置空间的下部,且在左右方向位于靠近所述第一卡点的一侧;第四卡点,设置在所述放置空间的下部,且在左右方向位于靠近所述第二卡点的一侧,并且,在上下方向低于所述第三卡点。

根据本实施例的石墨片组件,至少具有如下有益效果:由于卡点组在用于放置硅片的放置空间的下部,设置了第三卡点和第四卡点,且第四卡点在上下方向低于第三卡点,因此,不仅能够牢固地支撑并定位硅片,且能够防止硅片从石墨舟掉片。此外,由于硅片的接触面积增大,硅片能够更加有效地贴合卡点,因此能够至少一定程度上防止硅片因受热而发生翘曲以致工艺镀膜时产生绕镀。

在一些实施例中,所述卡点组还包括第五卡点,所述第五卡点设置在所述放置空间的左右方向的另一侧,在上下方向高于所述第二卡点。

在一些实施例中,所述卡点组包括4至8个卡点。

在一些实施例中,所述石墨片本体上,设置有多个定位槽,所述卡点组的各卡点分别嵌入到所述定位槽内。

在一些实施例中,所述石墨片本体的厚度方向的两侧,均设置有所述放置空间以及所述卡点组。

在一些实施例中,所述石墨片本体在所述放置空间处,开设有空腔部。

在一些实施例中,所述放置空间以及所述卡点组,分别沿所述石墨片本体的左右方向设置有多个。

根据本实用新型第二方面实施例的石墨舟,包括:多个上述的石墨片组件,所述石墨片组件沿所述石墨片本体的厚度方向间隔排布;第一连接件,沿所述石墨片本体的厚度方向,分别连接所述石墨片组件。

根据本实施例的石墨舟,至少具有如下有益效果:组成石墨舟的各石墨片组件,分别在用于放置硅片的放置空间的下部,设置了第三卡点和第四卡点,且第四卡点在上下方向低于第三卡点,因此,不仅能够牢固地支撑并定位硅片,且能够防止硅片从石墨舟掉片。

在一些实施例中,相邻的两个所述石墨片组件之间的间隔范围为10mm至14mm。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,未经深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021974138.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top