[实用新型]一种大型石英晶片清洗夹具

权利要求书

1.一种大型石英晶片清洗夹具，其特征在于：它包括若干个依次叠放的清洗夹具本体（1），所述清洗夹具本体（1）均包括夹具框架（2），所述夹具框架（2）的四周上端设置有螺纹孔和与所述螺纹孔相适配的螺纹柱（3），所述夹具框架（2）的四周下端设置有与所述螺纹柱（3）相适配的通孔，所述夹具框架（2）的左右两端分别设置有左夹持柱（4）和右夹持柱（5），所述夹具框架（2）中部设置有中夹持柱（6），所述左夹持柱（4）的右端和所述右夹持柱（5）的左端均阵列有若干个卡槽一（7），所述中夹持柱（6）的左右两端均阵列有若干个与所述卡槽一（7）相适配的卡槽二（8），所述夹具框架（2）的底部设置有晶片托架（9），所述夹具框架（2）的左右两端分别设置有与所述左夹持柱（4）和所述右夹持柱（5）相适配的左滑动槽（10）和右滑动槽（11），所述夹具框架（2）中下部均设置有与所述晶片托架（9）相适配的升降模块（12）。

2.根据权利要求1所述的一种大型石英晶片清洗夹具，其特征在于：夹具框架（2）包括对称设置的侧板（21）和两个所述侧板（21）下端之间的连接管（22），所述侧板（21）的底部设有提手槽（23）。

3.根据权利要求2所述的一种大型石英晶片清洗夹具，其特征在于：所述晶片托架（9）包括对称的托板（91），两个托板（91）之间设置有若干个托柱（92），所述托柱（92）分布于所述左夹持柱（4）和所述右夹持柱（5）之间的下方。

4.根据权利要求3所述的一种大型石英晶片清洗夹具，其特征在于：所述升降模块（12）为若干个纵向分布的通孔，所述托板（91）的外端均设置有螺栓，所述晶片托架（9）通过两个所述螺栓固定于两个所述升降模块（12）之间。

5.根据权利要求2所述的一种大型石英晶片清洗夹具，其特征在于：所述连接管（22）为加热管。

6.根据权利要求2所述的一种大型石英晶片清洗夹具，其特征在于：所述提手槽（23）的下端设置有排风板，所述排风板内部为空心槽，所述排风板的上端设置有若干个排风槽，所述排风槽位于所述卡槽一（7）和所述卡槽二（8）之间，所述排风板的一端设置有排风接口，所述排风接口与外部排风扇相连接。