[实用新型]组合件及包括连接到组合件的至少一个管段的流体回路

说明书

本实用新型涉及一种组合件及包括连接到组合件的至少一个管段的流体回路。本实用新型提供静电放电ESD缓解装置。在一或多个实施例中，所述静电放电ESD缓解装置是用以连接流体回路中的两个或更多个导电管段的管道连接器，所述管道连接器包含导电连接器主体与两个或更多个附接部分、两个或更多个附接配件，且导电支架经配置以与所述连接器主体附接及介接以将所述连接器主体电连接到接地。

技术领域

本实用新型的实施例涉及可用于(例如)流体处置系统中的静电放电(ESD)缓解配置，且更明确来说，涉及可经并入到此类流体处置系统中的导电支架。

背景技术

静电放电(ESD)是半导体产业及其它技术应用中的流体处置系统的一个重要技术问题。流体与流体系统中的各种操作组件(例如，管道或管路、阀、配件、过滤器等)的表面之间的摩擦接触可导致静态电荷产生及积聚。电荷产生的程度取决于各种因素，包含(但不限于)组件及流体的性质、流体速度、流体粘度、流体的导电性、接地通路、液体中的湍流及剪切、流体中气体的存在及表面积。此外，随着流体流动通过系统，电荷可在称为流动电荷(streaming charge)的现象中被带到下游，在下游电荷的积聚程度可能会超出电荷产生的地方。充分的电荷积累可导致管道或管路壁、组件表面处发生静电放电，或甚至会在各个过程步骤处静电放电到衬底或晶片上。

在一些应用中，半导体衬底或晶片对静态电荷高度敏感，且此ESD可导致衬底或晶片损坏或损毁。举例来说，可损毁衬底上的电路，且光敏化合物可能会由于不可控ESD 而在正常曝光之前活化。另外，积聚的静态电荷可从流体处置系统内放电到外部环境，从而潜在地损坏流体处置系统中的组件(例如，管道或管路、配件、组件、容器、过滤器等)，此会导致系统中的流体泄漏、溢出且使组件性能降低。在这些情况中，当易燃、有毒及/或腐蚀性流体用于受损的流体处置系统中时，此放电可能导致潜在火灾或爆炸。

通常，电气系统中的薄弱环节是接地的完整性。在一些流体处置系统中，为了减少静态电荷积聚，将流体处置系统中的某些金属或导电组件接地以在静态电荷连续从金属或导电组件连续分散到接地缓解其在系统中的积聚。目前，由例如尼龙(Nylon)的导电组合物组成的导电扎带或“束线带”有时用于将组件连接到接地。此类聚合物扎带易受蠕变、移动、断裂、环境效应或敏感性、劣化、磨损等影响，且在实践中具有许多缺点。

期望改进ESD缓解且提供用于超纯流体处置系统中的接地装置，所述接地装置改进组件可靠性、稳定性、性能且减少具有潜在损毁性的ESD事件。

实用新型内容

本实用新型大体上涉及可用于(例如)流体处置系统中的静电放电(ESD)缓解装置，且更明确来说，涉及可经并入到此类流体处置系统中的导电支架。

在一些实施例中，揭示用以连接流体回路中的两个或更多个导电管段的管道连接器，所述管道连接器包含导电连接器主体与两个或更多个附接部分、两个或更多个附接配件，且导电支架经配置以与所述连接器主体附接及介接以将所述连接器主体电连接到接地。

在管道连接器的某些实施例中，所述导电支架包含夹紧部分，其与所述连接器主体介接且选择性地变紧以将所述支架附接到所述连接器主体。在管道连接器的其它实施例中，所述导电支架包含用于将所述支架连接到接地的接地夹具。在管道连接器的一些实施例中，所述夹紧部分的形状是基本上圆形。在管道连接器的某些实施例中，所述夹紧部分的形状是基本上多边形。在管道连接器的某些实施例中，所述夹紧部分的形状是基本上六边形。

在管道连接器的各个实施例中，所述管道连接器包含笔直连接器、T型连接器或弯头连接器。在管道连接器的某些实施例中，所述管道连接器是具有用以连接两个管段的流体通道的笔直连接器。在管道连接器的某些实施例中，所述管道连接器是具有用以连接两个管段的流体通道的弯头连接器。在管道连接器的某些实施例中，所述管道连接器是具有用以连接三个管段的流体通道的T型连接器。在管道连接器的某些实施例中，所述连接器主体附接部分包含螺纹区及用以接纳管段的接头区。在管道连接器的某些实施例中，所述附接配件包含用以将管段附接到所述管道连接器的所述螺纹区及颈部区的螺母。