[实用新型]一种玻璃基版固定装置

说明书

本实用新型公开了一种玻璃基版固定装置，包括基座、锁固件以及至少四个固定座，基座上开设有与玻璃基版的尺寸相对应的若干组定位孔，每组定位孔包括四个安装孔，固定座与安装孔一一对应，固定座的一端插置于安装孔内并通过锁固件固定于基座上，固定座的上表面向下凹陷并形成有与玻璃基版的边缘相配合的凹陷部，四个凹陷部共同形成有用于承托玻璃基版的承托空间。因此本实用新型的玻璃基版固定装置在实际使用的时候可以先根据需要将四个固定座分别插置于同一组定位孔的不同安装孔内，然后再将玻璃基版放置于承托空间处并通过凹陷部实现承托，使得本实用新型的玻璃基版固定装置可以满足不同尺寸的玻璃基版的固定。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造的技术领域，具体涉及一种玻璃基版固定装置。

背景技术

众所周知，匀胶铬版是一种硬面光掩模材料，它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料。匀胶铬版是先在平整和高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射（SP）沉积上氮化铬-氮氧化铬薄膜后，再涂敷一层光致抗蚀剂（又称光刻胶）或电子束抗蚀剂后制作而成。

而玻璃基版作为匀胶铬版的基版，其清洁程度非常重要，如果玻璃基版的清洁度不够则会直接影响下一道生产工序；另外，玻璃基版表面的颗粒、划伤、崩边等都会影响光掩模版图形的精准度。

在实际的生产过程中，玻璃基版通常是通过超声波清洗机来清洗的，但在采用非化学侵蚀的中性清洗剂及超声波都无法清洁干净时，必须辅以无尘棉手洗的机械力去除，而如果想要达到无死角清洗，则需要良好的固定装置。如果无法很好地固定玻璃基版，而导致玻璃基版在清洗过程中发生移动，不但不能实现无死角清洗玻璃基版，而且还可能出现玻璃基版掉落清洗池中导致破碎、崩边、划伤等情况。

因此，亟需一种玻璃基版固定装置来解决上述问题。

发明内容

本项实用新型是针对现在的技术不足，提供一种玻璃基版固定装置。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：

一种玻璃基版固定装置，其特征在于：包括基座、锁固件以及至少四个固定座，所述基座上开设有与玻璃基版的尺寸相对应的若干组定位孔，每组定位孔包括四个安装孔，所述固定座与所述安装孔一一对应，所述固定座的一端插置于所述安装孔内并通过所述锁固件固定于所述基座上，所述固定座的上表面向下凹陷并形成有与玻璃基版的边缘相配合的凹陷部，四个所述凹陷部共同形成有用于承托玻璃基版的承托空间。

作进一步改进，所述固定座的上表面向下凹陷并形成有防止玻璃基版的角位碰撞受损的让位孔，所述凹陷部与所述让位孔相连通。

作进一步改进，所述基座的横截面呈正方形。

作进一步改进，所述安装孔均匀地布置于所述基座的对角线上。

作进一步改进，所述固定座包括第一圆柱体和插置于所述安装孔内的第二圆柱体，所述第一圆柱体的底面与所述第二圆柱体的顶面相接，所述凹陷部和所述让位孔均开设于所述第一圆柱体的顶面上。

作进一步改进，所述凹陷部的横截面的外轮廓呈扇形。

作进一步改进，所述凹陷部的底面从内至外向下倾斜地布置。

作进一步改进，所述凹陷部的两侧边相互垂直。

作进一步改进，所述第二圆柱体的内侧壁开设有内螺纹，所述锁固件的外侧壁开设有与所述内螺纹相匹配的外螺纹，所述第二圆柱体和所述所固件通过所述内螺纹和所述外螺纹实现连接。