[实用新型]一种基板清洗机挂架安全轮

说明书

本实用新型公开一种基板清洗机挂架安全轮，包括轮身、安全轮螺丝、安全轮螺帽和防水圈，所述轮身的上下两端分别开设有凹槽，所述轮身的下底面设置有安全轮螺丝，所述安全轮螺丝上连接有安全轮螺帽，所述安全轮螺帽的上底面边缘设有两个卡槽，所述轮身的下底面还设置有防水槽，所述防水槽内设有防水圈。本实用新型通过在安全轮螺帽上设置卡槽，使安全轮在锁紧时更加牢固，通过设置防水圈，防止药水渗入安全轮螺丝和安全轮螺帽。本实用新型结构简单，节省了基板的清洗步骤，提高了基板的清洗效率。

技术领域

本实用新型涉及基板清洗机技术领域，特别涉及一种基板清洗机挂架安全轮。

背景技术

匀胶铬版是一种硬面光掩模材料，即光掩膜基版，它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料。玻璃基板作为匀胶铬版的基板清洁程度非常重要，清洗基板的洁净能力至关重要。目前所采用的基板清洗机为深槽式全自动超声波清洗机，清洗过程中会经过上下抛动、机械手臂按程序自动传送等步骤。清洗机挂架上的安全轮一般都设有螺丝与螺帽，通过螺丝与螺帽将安全轮固定在挂架的导轨上，而在基板清洗过程中，药水会渗入安全轮螺丝与螺帽的螺纹连接处。基板清洗机最后一个槽为温水慢提拉，为防止药水在温水中从安全轮的螺纹连接处渗出，污染基板，因此需要对安全轮的螺丝与螺帽进行进放水处理。

发明内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足而提供一种基板清洗机挂架安全轮。

为达到上述目的，本实用新型通过以下技术方案来实现: 一种基板清洗机挂架安全轮，其特征在于：包括轮身、安全轮螺丝、安全轮螺帽和防水圈；所述轮身为圆柱状，所述轮身的上下两端分别设置有一圈凹槽，所述凹槽为梯形凹槽，所述梯形凹槽的两边呈90度“V”型，所述梯形凹槽的上底长度可根据基板的厚度进行设置；所述轮身的下底面设置有安全轮螺丝，所述安全轮螺丝与所述安全轮螺帽通过螺纹连接，所述安全轮螺帽的上底面边缘设有两个卡槽，两个所述的卡槽成对称分布；所述轮身的下底面还设置有防水槽，所述防水槽内设有防水圈。

进一步地，所述安全轮螺帽为圆形。

进一步地，所述防水槽为环形。

进一步地，所述防水圈为环形。

本实用新型的有益效果是：（1）基板采用倾斜的两边梯形凹槽固定，利用重力固定自身基板，基板与梯形凹槽间呈点接触，以保证清洗中基板清洗完全，无死角；且梯形凹槽的两边呈90度 “V”型，基板固定点为V型，可防止基板晃动脱位；（2）梯形凹槽的上底长度可根据基板厚度进行设置，有效避免卸料时基板边缘粘附水滴流向基板有效区；（4）设有卡槽的安全轮螺帽锁紧时更加牢固；（4）利用防水圈防止药水渗入，安全轮螺丝与安全轮螺帽不需要做放进水处理。本实用新型结构简单，节省了基板的清洗步骤，提高了基板的清洗效率。

附图说明

图1本实用新型结构示意图；

附图中各部分标记如下：轮身-1、安全轮螺丝-2、安全轮螺帽-3、防水圈-4、凹槽-5、卡槽-6、防水槽-7。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，所提到的方向术语，例如 “上”、“下”、“前”、“后”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示：