[实用新型]一种带具有标尺桨头结构的扩散炉有效

专利信息
申请号: 202021941719.2 申请日: 2020-09-08
公开(公告)号: CN213340397U 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 雷小龙;李宝飞;胡云川;何长发;匡成国;彭欣欣;阿海克古;董纪刚 申请(专利权)人: 通威太阳能(成都)有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67;F27B17/00;F27D5/00
代理公司: 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 代理人: 邓芸
地址: 610213 四川省成都市双流*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 标尺 结构 扩散
【权利要求书】:

1.一种带具有标尺桨头结构的扩散炉,包括并排设置的炉体(1)和净化台(2),炉体(1)内设置有炉管(1-1),炉管(1-1)的开口处设置有炉门(1-2),其特征在于,所述净化台(2)上设置有条与炉门(1-2)位置对应的导轨(7),导轨上设置有能沿导轨(7)往复运动的可调式推拉舟系统,可调式推拉舟系统包括用于放置石英舟(4)的浆和调整浆位置的带标尺的桨头结构(6)。

2.根据权利要求1所述的一种带具有标尺桨头结构的扩散炉,其特征在于,所述带标尺的桨头结构(6)包括浆头底板(6-1)和设置在浆头底板(6-1)上能够调沿导轨(7)方向调整位移的浆挂载基座(6-2),所述浆头底板(6-1)上设置有调整浆挂载基座(6-2)位移的调节顶丝组件(6-7),所述浆头底板(6-1)沿导轨(7)方向的两侧均设置有标尺(6-6),浆挂载基座(6-2)上安装有与导轨(7)方向垂直的指针(6-5),所述浆包括承载石英舟(4)的浆板(5)和设置在浆板(5)远离炉体(1)一侧浆头(8),浆头(8)固定在浆挂载基座(6-2)上。

3.根据权利要求2所述的一种带具有标尺桨头结构的扩散炉,其特征在于,所述浆头底板(6-1)和浆挂载基座(6-2)均为长方形板,浆头底板(6-1)和浆挂载基座(6-2)的长边均与导轨(7)平行,标尺(6-6)设置在浆头底板(6-1)的两长边边缘。

4.根据权利要求2所述的一种带具有标尺桨头结构的扩散炉,其特征在于,浆头底板(6-1)下方设置有与导轨(7)配合的滑块,所述浆头底板(6-1)上设置有把浆头底板(6-1)锁紧在滑块上的锁紧组件(6-3),锁紧组件(6-3)包括锁紧孔和锁紧螺栓。

5.根据权利要求2所述的一种带具有标尺桨头结构的扩散炉,其特征在于,所述调节顶丝组件(6-7)包括设在浆头底板(6-1)上靠近浆板(5)一侧的两个固定座(6-7.1),每个固定座(6-7.1)内沿导轨(7)方向设置有螺纹孔,螺纹孔内设置有螺钉(6-7.2),螺钉(6-7.2)穿过螺纹孔与浆挂载基座(6-2)边缘接触,所述浆挂载基座(6-2)上设置有把浆挂载基座(6-2)锁紧在浆头底板(6-1)上的锁紧机构(6-4)。

6.根据权利要求5所述的一种带具有标尺桨头结构的扩散炉,其特征在于,所述锁紧机构(6-4)为锁紧孔和锁紧螺栓。

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