[实用新型]一种带具有标尺桨头结构的扩散炉有效
| 申请号: | 202021941719.2 | 申请日: | 2020-09-08 |
| 公开(公告)号: | CN213340397U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
| 发明(设计)人: | 雷小龙;李宝飞;胡云川;何长发;匡成国;彭欣欣;阿海克古;董纪刚 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(成都)有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;F27B17/00;F27D5/00 |
| 代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 邓芸 |
| 地址: | 610213 四川省成都市双流*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 具有 标尺 结构 扩散 | ||
1.一种带具有标尺桨头结构的扩散炉,包括并排设置的炉体(1)和净化台(2),炉体(1)内设置有炉管(1-1),炉管(1-1)的开口处设置有炉门(1-2),其特征在于,所述净化台(2)上设置有条与炉门(1-2)位置对应的导轨(7),导轨上设置有能沿导轨(7)往复运动的可调式推拉舟系统,可调式推拉舟系统包括用于放置石英舟(4)的浆和调整浆位置的带标尺的桨头结构(6)。
2.根据权利要求1所述的一种带具有标尺桨头结构的扩散炉,其特征在于,所述带标尺的桨头结构(6)包括浆头底板(6-1)和设置在浆头底板(6-1)上能够调沿导轨(7)方向调整位移的浆挂载基座(6-2),所述浆头底板(6-1)上设置有调整浆挂载基座(6-2)位移的调节顶丝组件(6-7),所述浆头底板(6-1)沿导轨(7)方向的两侧均设置有标尺(6-6),浆挂载基座(6-2)上安装有与导轨(7)方向垂直的指针(6-5),所述浆包括承载石英舟(4)的浆板(5)和设置在浆板(5)远离炉体(1)一侧浆头(8),浆头(8)固定在浆挂载基座(6-2)上。
3.根据权利要求2所述的一种带具有标尺桨头结构的扩散炉,其特征在于,所述浆头底板(6-1)和浆挂载基座(6-2)均为长方形板,浆头底板(6-1)和浆挂载基座(6-2)的长边均与导轨(7)平行,标尺(6-6)设置在浆头底板(6-1)的两长边边缘。
4.根据权利要求2所述的一种带具有标尺桨头结构的扩散炉,其特征在于,浆头底板(6-1)下方设置有与导轨(7)配合的滑块,所述浆头底板(6-1)上设置有把浆头底板(6-1)锁紧在滑块上的锁紧组件(6-3),锁紧组件(6-3)包括锁紧孔和锁紧螺栓。
5.根据权利要求2所述的一种带具有标尺桨头结构的扩散炉,其特征在于,所述调节顶丝组件(6-7)包括设在浆头底板(6-1)上靠近浆板(5)一侧的两个固定座(6-7.1),每个固定座(6-7.1)内沿导轨(7)方向设置有螺纹孔,螺纹孔内设置有螺钉(6-7.2),螺钉(6-7.2)穿过螺纹孔与浆挂载基座(6-2)边缘接触,所述浆挂载基座(6-2)上设置有把浆挂载基座(6-2)锁紧在浆头底板(6-1)上的锁紧机构(6-4)。
6.根据权利要求5所述的一种带具有标尺桨头结构的扩散炉,其特征在于,所述锁紧机构(6-4)为锁紧孔和锁紧螺栓。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





