[实用新型]一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪

说明书

本实用新型公开了一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，包括机箱，所述机箱的顶部固定连接有成像椭偏仪本体，所述机箱的右侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面套设有螺纹套，所述螺纹套的顶部固定连接有安装板。本实用新型通过驱动电机、螺纹杆、螺纹套、安装板、液压伸缩缸、转轮、连接杆、微型电机、传动机构和放置槽的配合，驱动电机的输出轴通过螺纹杆带动螺纹套左右移动，通过液压伸缩缸带动转轮上下移动，调节高度，微型电机的输出轴通过齿轮和圆形齿牙板带动转轮旋转，调节被测物体的角度，从而达到测量精准度高的效果，解决了现有装置测量精准度低的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，具体为一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪。

背景技术

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器，椭偏技术是测量检测薄膜的介电性质（复折射系数或介电函数）、膜厚以及表面形貌的一种光学测量技术，成像椭偏仪可对微区薄膜进行分析，也可实现动态的椭偏测量，并和其他各种技术联用，现有的椭偏仪不能对被测物体的位置和角度进行调节，导致测量数据的精准度有所下降。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，具备测量精准度高的优点，解决了现有装置测量精准度低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，包括机箱，所述机箱的顶部固定连接有成像椭偏仪本体，所述机箱的右侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面套设有螺纹套，所述螺纹套的顶部固定连接有安装板，所述安装板的顶部固定连接有液压伸缩缸，所述液压伸缩缸的顶部通过轴承座活动连接有转轮，所述液压伸缩缸的右侧固定连接有连接杆，所述连接杆的右侧固定连接有微型电机，所述微型电机的输出轴固定连接有传动机构，所述转轮的顶部设置有放置槽。

优选的，所述安装板的底部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的底部固定连接有滑轮，所述滑轮的底部滑动连接有滑槽。

优选的，所述传动机构包括齿轮和圆形齿牙板，所述微型电机的输出轴固定连接有齿轮，所述齿轮的表面啮合有圆形齿牙板，所述圆形齿牙板的内侧与转轮的表面固定连接。

优选的，所述放置槽内腔的左右两侧均固定连接有弹簧，所述弹簧的另一端固定连接有固定板。

优选的，所述机箱的正面设置有控制箱，所述机箱的顶部设置有限位槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过驱动电机、螺纹杆、螺纹套、安装板、液压伸缩缸、转轮、连接杆、微型电机、传动机构和放置槽的配合，驱动电机的输出轴通过螺纹杆带动螺纹套左右移动，通过液压伸缩缸带动转轮上下移动，调节高度，微型电机的输出轴通过齿轮和圆形齿牙板带动转轮旋转，调节被测物体的角度，从而达到测量精准度高的效果，解决了现有装置测量精准度低的问题。

2、本实用新型通过支撑杆、滑轮和滑槽的配合，便于对安装板进行支撑，提高安装板移动的流畅性，通过弹簧和固定板的配合，便于对被测物体进行固定，避免被测物体在调节角度的过程中晃动。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处局部放大图；

图3为本实用新型结构主视图。

图中：1、机箱；2、成像椭偏仪本体；3、驱动电机；4、螺纹杆；5、螺纹套；6、安装板；7、液压伸缩缸；8、转轮；9、微型电机；10、传动机构；101、齿轮；102、圆形齿牙板；11、放置槽；12、支撑杆；13、滑轮；14、滑槽；15、弹簧；16、固定板；17、控制箱；18、限位槽；19、连接杆。

具体实施方式