[实用新型]一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶

权利要求书

1.一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶，其特征在于：重力计量桶（10）位于化学液供液系统（11）和清洗设备之间，所述化学液供液系统通过进液管（1）与重力计量桶的顶部相连通，所述重力计量桶（10）的底部通过注液管道（9）与清洗设备连接，所述注液管道（9）上设置有电子阀（8），通过清洗设备药液信号控制电子阀的开关；

在重力计量桶（10）的顶部中心还设置有排气口（2），位于重力计量桶（10）一侧设置有连通重力计量桶顶部和底部的透明液位管（3），位于透明液位管（3）管道的上部及底部分别设置有工作液位传感器（5）以及下限位传感器（6），在重力计量桶（10）的桶身外壁上还设置有刻度标识（7）。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶，其特征在于：所述重力计量桶（10）为圆筒形，且其材质为PTFE。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶，其特征在于：所述重力计量桶（10）的放置位置位于清洗设备溶液槽水平高度上方28~35公分处。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶，其特征在于：所述进液管（1）的另一端延伸至重力计量桶（10）的内部，且进液管（1）的底部位于重力计量桶底部2~3公分处。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶，其特征在于：所述排气口（2）内部填充有滤料。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶，其特征在于：位于透明液位管（3）管道的工作液位传感器（5）的上方还设置有上限位传感器（4）。

7.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶，其特征在于：所述刻度标识（7）与透明液位管（3）贴近并水平设置。