[实用新型]一种可旋转晶片测量载台有效
| 申请号： | 202021914686.2 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN212721363U | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 李鹏;苏剑峰 | 申请（专利权）人： | 山西烁科晶体有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人： | 崔雪花;冷锦超 |
| 地址： | 030006 山西省太*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 晶片 测量 | ||
【权利要求书】：
1.一种可旋转晶片测量载台，其特征在于，包括底盘和托盘，所述底盘上设置有支撑座，所述支撑座内设置有轴承，所述托盘底部固定连接有转轴，所述转轴设置在支撑座内与轴承相连接；所述托盘设置有用于拿取待测量晶片的缺口。
2.根据权利要求1所述的一种可旋转晶片测量载台，其特征在于，所述底盘的底部设置有基座。
3.根据权利要求2所述的一种可旋转晶片测量载台，其特征在于，所述基座的底部设置有防滑垫。
4.根据权利要求1所述的一种可旋转晶片测量载台，其特征在于，所述托盘的表面设置有防滑垫。
5.根据权利要求1所述的一种可旋转晶片测量载台，其特征在于，所述转轴垂直焊接在托盘的底部。
6.根据权利要求1所述的一种可旋转晶片测量载台，其特征在于，所述托盘大于底盘的面积。
7.根据权利要求1所述的一种可旋转晶片测量载台，其特征在于，所述托盘为圆形，且圆形托盘的边缘均匀布置有四个缺口。
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