[实用新型]一种石英舟沟切加工治具有效

专利信息
申请号: 202021907012.X 申请日: 2020-09-03
公开(公告)号: CN214026491U 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 郑涛;方国良;汪俊;杨军 申请(专利权)人: 浙江先导精密机械有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00;H01L21/673
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 代理人: 郑汝珍
地址: 324200 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 舟沟切 加工
【说明书】:

本实用新型公开了一种石英舟沟切加工治具,包括,铁质脚架,所述铁质脚架用于支撑;铝合金底板,所述铝合金底板上安装在铁质脚架上;夹块组件,所述夹块组件用于夹紧石英舟产品,所述夹块组件固定在铝合金底板上;石墨靠板,所述石墨靠板用于支撑石英舟产品,所述石墨靠板固定在铝合金底板上;定位板组件,所述定位板组件用于快速定位石英舟产品,所述定位板组件安装在石墨靠板上。本实用新型提供一种石英舟沟切加工治具,减少装夹上料的辅助工作时间,提高工作效率,同时还便于确定产品的基准面,提高产品的加工质量。

技术领域

本实用新型涉及加工工具,尤其是涉及一种石英舟沟切加工治具。

背景技术

石英舟属于半导体部件中的重要组成部分,现有技术中,石英产品大多数是用采用粘蜡的加工方法,由于石英舟产品形状的特殊性,粘蜡方法无法提供足够的强度在产品的加工过程中,所以沟切加工很难达到设计精度要求;且由于石英舟的特殊性产品加工的基准面难以确定机械加工会产生偏移,容易造成产品加工过程中出现断裂,基准面不准确使产品出现加工后尺寸不良、质量不稳定,出现产品缺陷甚至报废的情况发生。

例如,在中国专利文献上公开的“一种石英舟类产品加工治具”,其公告号CN202411716U,包括固定螺栓、沟棒定位块、沟棒定位片、主体底座和法兰定位块,特点是将石英法兰底盘放置在所述法兰定位块上,将石英沟棒放置在所述沟棒定位片上,所述沟棒定位片通过固定螺栓与所述沟棒定位块相接,所述沟棒定位块固定在所述主体底座上,所述法兰定位块固定在所述主体底座上,沟棒定位片设置在所述主体底座和所述沟棒定位块、所述法兰定位块之间,所述主体底座通过螺栓与沟棒定位片连接。但是该技术方案中解决的是石英舟产品的定位问题,但只能对其中固定尺寸的石英舟产品进行固定定位,且定位块的尺寸还需要与石英舟产品的宽度尺寸一致。

实用新型内容

本实用新型是为了克服上述现有技术中石英舟产品加工不便、基准面难以确定使产品出现缺陷甚至报废等问题,提供一种石英舟沟切加工治具,减少装夹上料的辅助工作时间,提高工作效率,同时还便于确定产品的基准面,提高产品的加工质量。

为了实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:

一种石英舟沟切加工治具,包括,

铁质脚架,所述铁质脚架用于支撑;

铝合金底板,所述铝合金底板安装在铁质脚架上;

夹板组件,所述夹板组件用于夹紧石英舟产品,所述夹板组件固定在铝合金底板上;

石墨靠板,所述石墨靠板用于支撑石英舟产品,所述石墨靠板固定在铝合金底板上;

定位板组件,所述定位板组件用于快速定位石英舟产品,所述定位板组件安装在石墨靠板上。

在本技术方案中,铁质脚架用于支撑整体加工治具,同时铁质脚架采用45#钢,确保了加工治具在机床磁盘上稳定、确保产品安全性,铝合金底板用于支撑产品底部,而铝合金底板采用铝合金材料,避免产品被治具划伤,同时使治具整体重量避免太重造成操作不便,夹板组件用于固定石英舟产品,避免在加工过程中石英舟产品发生滑动造成不便;而石墨靠板用于支撑石英舟产品的背部,防止石英舟产品倾倒,同时石墨靠板使用石墨材料,最大程度地保证石英舟产品在加工做成中不被污染以保证石英舟产品的纯度,定位板组件的设置便于快速定位石英舟产品,减少装夹上料的辅助工作时间,提高工作效率,同时还便于确定产品的基准面,进而提高石英舟产品的加工质量。

作为优选,所述夹板组件包括第一夹板和第二夹板,所述第一夹板和第二夹板分别成对且对称固定在铝合金底板上。

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