[实用新型]—种带有防倒流功能的线路板高精淮真空蚀刻装置

权利要求书

1.一种带有防倒流功能的线路板高精淮真空蚀刻装置，包括蚀刻药液箱(1)，其特征在于，所述蚀刻药液箱(1)一侧外壁分别转动连接有均匀分布的上输送辊(14)和下输送辊(16)；蚀刻药液箱(1)一侧外壁通过螺栓连接有均匀分布的通液管(7)；通液管(7)分别位于上输送辊(14)和下输送辊(16)的上方和下方；通液管(7)一侧内壁通过螺钉固定连接有洒水器(8)；蚀刻药液箱(1)一侧外壁通过螺栓连接有均匀分布的安装架(12)；安装架(12)一侧内壁固定连接有真空吸管(6)；真空吸管(6)一侧外壁通过螺钉固定连接有吸液头(13)；吸液头(13)一侧内壁通过螺钉固定连接有限位筒(21)；限位筒(21)一侧外壁通过螺钉固定连接有限位台(22)；限位筒(21)一侧内壁滑动连接有球体(15)；限位筒(21)一侧外壁加工有通孔；真空吸管(6)一侧外壁通过螺栓连接有循环利用药液箱(4)；下输送辊(16)下方放置有药液回收盒(9)；循环利用药液箱(4)内部设置有负压泵；循环利用药液箱(4)内部设置有控制单元；洒水器(8)与内部控制单元电性连接。

2.根据权利要求1所述的—种带有防倒流功能的线路板高精淮真空蚀刻装置，其特征在于，所述药液回收盒(9)两侧内壁设置有抽液管(3)；抽液管(3)一侧外壁通过螺栓连接于循环利用药液箱(4)两侧内壁。

3.根据权利要求2所述的—种带有防倒流功能的线路板高精淮真空蚀刻装置，其特征在于，所述循环利用药液箱(4)顶端外壁通过铰链连接有箱盖(5)；箱盖(5)一侧外壁通过螺钉固定连接有阴极棒(17)；阴极棒(17)与内部控制单元电性连接。

4.根据权利要求3所述的—种带有防倒流功能的线路板高精淮真空蚀刻装置，其特征在于，所述循环利用药液箱(4)底端内壁通过螺钉固定连接有正极板(20)；正极板(20)与内部控制单元电性连接。

5.根据权利要求4所述的—种带有防倒流功能的线路板高精淮真空蚀刻装置，其特征在于，所述循环利用药液箱(4)一侧内壁通过螺钉固定连接有液位传感器(10)；液位传感器(10)与内部控制单元电性连接。

6.根据权利要求5所述的—种带有防倒流功能的线路板高精淮真空蚀刻装置，其特征在于，所述循环利用药液箱(4)两侧外壁均通过螺栓连接有电动阀门(2)；电动阀门(2)一侧外壁通过螺栓连接于蚀刻药液箱(1)顶端外壁；电动阀门(2)与内部控制单元电性连接。

7.根据权利要求6所述的—种带有防倒流功能的线路板高精淮真空蚀刻装置，其特征在于，所述循环利用药液箱(4)两侧内壁加工有槽；槽一侧外壁滑动连接有连杆(19)；连杆(19)一侧外壁通过螺钉固定连接有固液分离网(11)；连杆(19)一侧外壁通过螺钉固定连接有卡位块(18)。