[实用新型]一种3D电池后盖真空镀膜装置有效
| 申请号： | 202021861813.7 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN213596386U | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 章颂云;何水清;龙通景;李凯江 | 申请（专利权）人： | 东莞市聚龙高科电子技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523820 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电池 真空镀膜 装置 | ||
1.一种3D电池后盖真空镀膜装置，其特征在于：它包括装置本体(1)，所述装置本体(1)的内部通过隔板(19)形成第一容置腔(2)和第二容置腔(3)，所述装置本体(1)的内底部固定安装有电动滑台(4)，所述电动滑台(4)的顶面通过滑块固定安装有负极板(5)，所述负极板(5)的顶面固定安装有靶材(6)，所述第一容置腔(2)的内顶部固定安装有第一安装壳(7)，所述第一安装壳(7)的内部固定安装有第一旋转电机(8)，所述第一旋转电机(8)的转轴端连通第一安装壳(7)固定连接有第一正极板(9)，所述第一正极板(9)的底面两端均通过挂架固定连接有电池后盖(10)，所述第二容置腔(3)的内顶部固定安装有第二安装壳(11)，所述第二安装壳(11)的内部固定安装有第二旋转电机(12)，所述第二旋转电机(12)的转轴端连通第二安装壳(11)固定连接有第二正极板(13)，所述第二正极板(13)的底面两端均通过挂架固定连接有电池后盖(10)，所述装置本体(1)的顶面两端分别安装有第一氩气连接管(14)和第二氩气连接管(15)，所述装置本体(1)的顶面两端且位于第一氩气连接管(14)和第二氩气连接管(15)之间分别安装有第一真空连接管(16)和第二真空连接管(17)。
2.根据权利要求1所述的一种3D电池后盖真空镀膜装置，其特征在于：所述装置本体(1)的左右侧面均安装有门扇(18)。
3.根据权利要求2所述的一种3D电池后盖真空镀膜装置，其特征在于：所述装置本体(1)的正面设置有观察口，所述观察口内固定安装有透明钢化玻璃。
4.根据权利要求3所述的一种3D电池后盖真空镀膜装置，其特征在于：所述隔板(19)与装置本体(1)的底面不相接触。
5.根据权利要求4所述的一种3D电池后盖真空镀膜装置，其特征在于：所述第一氩气连接管(14)和第二氩气连接管(15)均与外部的氩气泵连接，所述第一真空连接管(16)和第二真空连接管(17)均与外部的真空泵连接。
6.根据权利要求5所述的一种3D电池后盖真空镀膜装置，其特征在于：所述靶材(6)为高纯铜靶。
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