[实用新型]一种电注入炉上料整片装置

权利要求书

1.一种电注入炉上料整片装置，其特征在于：包括第一前后矫正单元(1)、第一左右矫正单元(2)、固定板(3)、第二左右矫正单元(4)、第二前后矫正单元(5)、传输轨道固定板(6)、硅片输送线(7)、暂存片盒(8)、第一顶升杆(9)、第二顶升杆(10)、中间输送线体(11)和取片位输送线(12)，所述的第一前后矫正单元(1)安装在固定板(3)顶面上，所述的第一左右矫正单元(2)固定安装在固定板(3)顶面上且第一左右矫正单元(2)位于第一前后矫正单元(1)右侧，所述的第一顶升杆(9)位于固定板(3)左侧矩形凹槽的中心处，所述的取片位输送线(12)固定安装在固定板(3)顶面上且取片位输送线(12)位于第一左右矫正单元(2)的右侧，所述的第二左右矫正单元(4)固定安装在固定板(3)顶面上且第二左右矫正单元(4)位于取片位输送线(12)右侧，所述的第二顶升杆(10)位于固定板(3)右侧矩形凹槽的中心处，所述的第二前后矫正单元(5)固定安装在固定板(3)顶面上且第二前后矫正单元(5)位于第二左右矫正单元(4)右侧，所述的传输轨道固定板(6)位于固定板(3)前侧，所述的中间输送线体(11)固定安装在传输轨道固定板(6)上且中间输送线体(11)位于取片位输送线(12)前侧，所述的硅片输送线(7)固定安装在传输轨道固定板(6)上且硅片输送线(7)位于中间输送线体(11)前侧，所述的暂存片盒(8)安装在传输轨道固定板(6)上且暂存片盒(8)位于硅片输送线(7)左侧。

2.根据权利要求1所述的一种电注入炉上料整片装置，其特征在于：所述的第一前后矫正单元(1)由第一底座(101)、第一无杆气缸(102)、第一料盘(103)、第一滑座(104)、第一前夹爪(105)、第一后夹爪(106)、第一带导杆气缸(107)、第一安装杆(108)和第二带导杆气缸(109)组成，所述的第一底座(101)固定安装在固定板(3)上，所述的第一无杆气缸(102)安装在第一底座(101)上，所述的第一滑座(104)安装在第一无杆气缸(102)的滑台上，所述的第一带导杆气缸(107)和第二带导杆气缸(109)都固定安装在第一滑座(104)的顶面上，所述的第一前夹爪(105)安装在第二带导杆气缸(109)上，所述的第一后夹爪(106)安装在第一带导杆气缸(107)上，所述的第一安装杆(108)安装在第一滑座(104)的安装孔里，所述的第一料盘(103)固定安装在第一安装杆(108)顶面上。

3.根据权利要求1所述的一种电注入炉上料整片装置，其特征在于：所述的第一左右矫正单元(2)由第一基座(201)、第一左支架(202)、第一左带导杆气缸(203)、第一左夹爪(204)、第一右带导杆气缸(205)、第一右夹爪(206)、第一右支架(207)、第一支撑架(208)、左电注入片盒(209)和第一片盒输送线体(210)组成，所述的第一基座(201)固定安装在固定板(3)上，所述的第一片盒输送线体(210)安装在第一基座(201)上，所述的第一左支架(202)和第一右支架(207)都固定安装在固定板(3)上，所述的第一左带导杆气缸(203)安装在第一左支架(202)上，所述的第一左夹爪(204)安装在第一左带导杆气缸(203)上，所述的第一右带导杆气缸(205)安装在第一右支架(207)上，所述的第一右夹爪(206)安装在第一右带导杆气缸(205)上，所述的左电注入片盒(209)安装在第一片盒输送线体(210)上，所述的第一支撑架(208)固定安装在第一基座(201)上。