[实用新型]一种晶圆承片盘的研磨机构

权利要求书

1.一种晶圆承片盘的研磨机构，其特征是：包括研磨平板(1)、晶圆承片盘(2)、压力盘(3)、压力盘连接板(4)、主动齿轮(5)、第一随动轮(6)、从动齿轮(7)、第二随动轮(8)、导向光轴(9)、轴承座(10)、方形直线轴承(11)、研磨机底板(12)、调速电机(13)、主动带轮(14)、同步带(15)、从动带轮(16)、第一导槽连接板(17)和第二导槽连接板(18)；在所述研磨机底板(12)的前方边缘处安装有所述调速电机(13)，所述调速电机(13)的转轴与主动带轮(14)之间键连接，所述主动带轮(14)位于所述研磨机底板(12)的下方，在所述研磨机底板(12)背面左侧的中部位置安装有所述从动带轮(16)在所述主动带轮(14)和从动带轮(16)的外部套接有所述同步带(15)；在所述研磨机底板(12)的正面上安装有与所述从动带轮(16)相连接且位置相对应的所述主动齿轮(5)，在所述主动齿轮(5)的一侧安装有与所述主动齿轮(5)螺纹连接的所述第一随动轮(6)；在所述主动齿轮(5)的右侧设有与所述主动齿轮(5)的轮齿相啮合的所述从动齿轮(7)，且在所述从动齿轮(7)的一侧安装有与所述从动齿轮(7)螺纹连接的所述第二随动轮(8)；沿所述研磨机底板(12)的前、后方边缘各安装有一根横向的所述导向光轴(9)，横向的所述导向光轴(9)的两端通过所述轴承座(10)安装固定在所述研磨机底板(12)的正面；在横向的所述导向光轴(9)的轴体上套接安装有所述方形直线轴承(11)，在前、后方的横向所述导向光轴(9)的方形直线轴承(11)之间安装固定有所述第二导槽连接板(18)且第二导槽连接板(18)的设置高度位于方形直线轴承(11)的上方，沿所述第二导槽连接板(18)的左侧边开设有第二导槽(18.1)，所述第二随动轮(8)活动嵌入所述第二导槽(18.1)的槽内；在所述第二导槽连接板(18)的表面的两端各安装固定有两块所述轴承座(10)，在两端的所述轴承座(10)之间连接固定有呈竖向状的所述导向光轴(9)，且在竖向的所述导向光轴(9)的轴体上套接安装有所述方形直线轴承(11)；沿竖向所述导向光轴(9)的方形直线轴承(11)的左侧面固定安装有所述第一导槽连接板(17)且第一导槽连接板(17)的设置高度位于方形直线轴承(11)的下方；在所述第一导槽连接板(17)的中部开设有第一导槽(17.1)，所述第一随动轮(6)活动嵌入所述第一导槽(17.1)的槽内；所述第一导槽连接板(17)的另一端连接所述压力盘连接板(4)，在所述压力盘连接板(4)的背面平铺固定有所述压力盘(3)；在所述研磨机底板(12)的左侧、所述压力盘(3)的下方设有所述研磨平板(1)，所述晶圆承片盘(2)放置固定在所述研磨平板(1)和压力盘(3)之间。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆承片盘的研磨机构，其特征是：横向所述导向光轴(9)上和竖向所述导向光轴(9)的数量均为两根，且在横向所述导向光轴(9)上和竖向所述导向光轴(9)的轴体上均套接有四块所述方形直线轴承(11)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆承片盘的研磨机构，其特征是：所述研磨平板(1)的高度低于所述第一导槽连接板(17)的设置高度。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆承片盘的研磨机构，其特征是：在所述压力盘连接板(4)的左端开设有压力调节螺纹孔(4.1)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆承片盘的研磨机构，其特征是：在所述研磨机底板(12)的背面四周顶角处安装固定有地脚(19)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆承片盘的研磨机构，其特征是：所述压力盘连接板(4)与压力盘(3)之间通过螺钉进行固定。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆承片盘的研磨机构，其特征是：所述第一导槽连接板(17)的设置方向与横向所述导向光轴(9)的设置方向相同；所述第二导槽连接板(18)的设置方向与竖向所述导向光轴(9)的设置方向相同；所述第一导槽连接板(17)和第二导槽连接板(18)之间呈垂直状。