[实用新型]一种新式石墨纯化残余废气处理装置有效
申请号: | 202021839823.0 | 申请日: | 2020-08-28 |
公开(公告)号: | CN212492332U | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 付善任;张红;夏倩倩 | 申请(专利权)人: | 上海岚玥新材料科技有限公司 |
主分类号: | B01D53/75 | 分类号: | B01D53/75;B01D53/78;B01D53/82;B01D53/68;B01D53/04;B01D53/18;B01D46/12;F27D7/06;F27D17/00 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 田黎绒 |
地址: | 201400 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新式 石墨 纯化 残余 废气 处理 装置 | ||
本实用新型公开了一种新式石墨纯化残余废气处理装置,包括高温炉的排气管道,所述高温炉的排气管道的一端固定连接有废气进接口法兰,所述高温炉的排气管道的一侧外设置有第四箱体,所述第四箱体内设置有出气管和冷却水,所述出气管的两端均贯穿第四箱体的侧壁设置在第四箱体外,所述出气管内设置有废气进气阀,所述出气管设置在第四箱体外的一端与废气进接口法兰固定连接,所述出气管设置在第四箱体外的另一端固定连接有第一金属快接插头,所述第四箱体的一侧外设置有第三箱体,本实用新型是实用新型一套石墨纯化残余废气处理装置,该装置可与终端用户的高温炉形成联动装置,对初始石墨材料进行氯气纯化,去除其内部所含有的杂质。
技术领域
本实用新型涉及一种炭素材料、石墨材料的纯化技术领域,具体是一种新式石墨纯化残余废气处理装置。
背景技术
由于石墨材料具有优异的理化性能,应用领域十分广泛,但伴随着市场对石墨材料品质的要求越来越高,如何高效科学的提升石墨材料的纯度,去除其中的杂质,成为了产业化应用过程中的重中之重。尤其是在半导体材料制备领域中,石墨材料里面所含有的金属杂质(如铁、锰、镍、铜等)对半导体材料的性能影响非常大。并且石墨材料的吸附性比较强,在长期使用过程中,也会对环境中的各种杂质进行吸附,需要对其进行定期的提纯处理。
而单纯的由石墨材料厂家对石墨材料器件进行纯化处理也存在诸多不便,一是纯化炉加热空间有限,一次性纯化的石墨器件数量非常少。二是石墨器件摆放过于密集,纯化效果不理想,需要耗费较长的周期和与之伴随的高耗能,以上就导致了石墨材料纯化的成本非常高。并且废旧石墨热场需要二次提纯,在拆除石墨热场,返厂过程中会发生一定的器件破损、产生包装费和运费,影响设备稼动率,进而提升生产成本。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种新式石墨纯化残余废气处理装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种新式石墨纯化残余废气处理装置,包括高温炉的排气管道,所述高温炉的排气管道的一端固定连接有废气进接口法兰,所述高温炉的排气管道的一侧外设置有第四箱体,所述第四箱体内设置有出气管和冷却水,所述出气管的两端均贯穿第四箱体的侧壁设置在第四箱体外,所述出气管内设置有废气进气阀,所述出气管设置在第四箱体外的一端与废气进接口法兰固定连接,所述出气管设置在第四箱体外的另一端固定连接有第一金属快接插头,所述第四箱体的一侧外设置有第三箱体,所述第三箱体内设置有多层活性炭过滤板,所述多层活性炭过滤板内设置有第一连接管,所述第一连接管的一端贯穿第三箱体的侧壁设置在第三箱体外,所述第一连接管设置在第三箱体外的一端与第一金属快接插头固定连接,所述第三箱体的一侧外设置有第二箱体,所述第二箱体内设置有固态氢氧化钠和液态氢氧化钠,所述液态氢氧化钠设置在固态氢氧化钠的下方,所述液态氢氧化钠内设置有第二连接管,所述第二连接管的一端贯穿第二箱体的侧壁设置在第二箱体外,所述第二连接管设置在第二箱体外的一端贯穿第三箱体的侧壁设置在第三箱体内,所述第二箱体的一侧外设置有第一箱体,所述第一箱体内设置有水,所述水内设置有第三连接管,所述第三连接管的一端贯穿第一箱体的侧壁设置在第一箱体外,所述第三连接管设置在第一箱体外的一端贯穿第二箱体的侧壁设置在第二箱体内,所述第一箱体的侧壁固定连接有管体。
作为本实用新型进一步的方案:所述冷却水内设置有冷却水温度计。
作为本实用新型再进一步的方案:所述第三连接管内设置有第二密封阀,所述第三连接管外固定连接有第三金属快接插头。
作为本实用新型再进一步的方案:所述第二连接管内设置有第一密封阀,所述第二连接管外固定连接有第二金属快接插头。
作为本实用新型再进一步的方案:所述水的水面处设置有氯含量电子测试计。
作为本实用新型再进一步的方案:所述管体内设置有第三密封阀。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
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