[实用新型]一种MEMS结构

说明书

本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在衬底上方并且覆盖空腔；第一电极层，形成于振动支撑层上方；压电层，形成于第一电极层上方；第二电极层，形成在压电层上方，第一电极层和第二电极层中的一个具有周向的第一分割槽和径向的第二分割槽，以将第一电极层和第二电极层中的一个分割成分隔开的中间区域和外围区域，第一电极层和第二电极层中的另一个具有相连的中间区域和外围区域。本申请通过在MEMS结构内设置具有第一分割槽的第二电极层或第一电极层，使得中间区域的各个膜层和外围区域的各个膜层能够输出电压反号，有效减少了电荷中和，从而提高了MEMS结构的输出灵敏度。

技术领域

本申请涉及微电机械系统技术领域，具体来说，涉及一种MEMS结构。

背景技术

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems，即微电机械系统)麦克风主要包括电容式和压电式两种。MEMS压电麦克风是利用微电机械系统技术和压电薄膜技术制备的，由于采用半导体平面工艺和体硅加工等技术，所以其尺寸小、体积小、一致性好。同时相对于电容传声器还有不需要偏置电压、工作温度范围大、防尘、防水等优点，但其灵敏度比较低，制约着MEMS压电麦克风的发展。

针对相关技术中如何提高MEMS结构的灵敏度的问题，目前比较常见的解决方案是将电极层分割成多个部分，但是这种分割电极的方法对于提高灵敏度的范围有限。

实用新型内容

针对相关技术中如何提高MEMS结构的灵敏度的问题，本申请提出一种MEMS结构及其形成方法，能够有效提高灵敏度。

本申请的技术方案是这样实现的：

根据本申请的一个方面，提供了一种MEMS结构，包括：

衬底，具有空腔；

振动支撑层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔；

第一电极层，形成于所述振动支撑层上方；

压电层，形成于所述第一电极层上方；

第二电极层，形成在所述压电层上方，所述第一电极层和所述第二电极层中的一个具有周向的第一分割槽和径向的第二分割槽，以将所述第一电极层和所述第二电极层中的所述一个分割成分隔开的中间区域和外围区域，所述第一电极层和所述第二电极层中的另一个具有相连的中间区域和外围区域。

本申请通过在MEMS结构内设置具有第一分割槽的第二电极层或第一电极层，使得中间区域的各个膜层和外围区域的各个膜层能够输出电压反号，有效减少了电荷中和，从而提高了MEMS结构的灵敏度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1至图7示出了根据一些实施例的形成MEMS结构的方法的中间阶段的剖面示意图；

图8示出了根据一些实施例的MEMS结构的立体图；

图9示出了图8的剖面立体图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。