[实用新型]一种超高纯石英坩锅

权利要求书

1.一种超高纯石英坩锅，包括石英锅体(1)，其特征在于：石英锅体(1)的底部中心同轴开设有第一卡槽(4)，第一卡槽(4)的形状与石英锅体(1)的底部形状保持一致，且第一卡槽(4)的顶面至少延伸至石英锅体(1)的侧面中间位置，使得第一卡槽(4)将石英锅体(1)的底部包裹；

在第一卡槽(4)中心位置上的石英锅体(1)底部设有第二卡槽(9)，第二卡槽(9)的形状与石英锅体(1)的底部形状保持一致；

所述第二卡槽(9)内容置有与之形状匹配的第一导热垫(5)，所述第一导热垫(5)位于第二导热垫(6)内腔底面中心，所述第二导热垫(6)的形状与第一卡槽(4)之形状匹配，使得第二导热垫(6)卡在第一卡槽(4)内。

2.根据权利要求1所述的一种超高纯石英坩锅，其特征在于：在第一卡槽(4)顶部位置设有绕着石英锅体(1)侧面一圈的环形压槽(10)，所述第二导热垫(6)的顶部边缘设有向着环形压槽(10)内延伸的压痕(3)；所述第二导热垫(6)和第一导热垫(5)均为金属材料。

3.根据权利要求1所述的一种超高纯石英坩锅，其特征在于：所述第二导热垫(6)的底部同轴连接环形支撑圈(8)，在环形支撑圈(8)上开设有多个缺口(7)。

4.根据权利要求1所述的一种超高纯石英坩锅，其特征在于：所述石英锅体(1)的顶面边缘为向外弯曲的弧形边(2)。