[实用新型]反应管的密封结构

说明书

本实用新型公开了反应管的密封结构，包括：法兰部，所述法兰部和所述反应管的炉体连接；石英管部，包括石英内管和石英外管，所述石英内管插入所述石英外管内，所述石英外管插入所述炉体内，所述石英外管的轴向一端的第一外周部和所述法兰部的第一内周部相对；密封件，设置在所述第一外周部和所述第一内周部之间，包括至少两个密封件，所述密封件沿所述石英外管的轴向间隔排布。本实施例的反应管的密封结构，由于将密封件设置在石英外管和法兰部之间，能够大大降低密封件的受热强度，延长密封件的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池板制造技术领域，特别涉及反应管的密封结构。

背景技术

LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition，低压化学气相沉积)设备是在低压高温条件下，通过混合气体的化学反应生成固体反应物并使其沉积在硅片表面形成薄膜，是化学气相沉积(CVD)设备当中的一种。在光伏行业中，LPCVD设备，能够实现TOPCon电池结构中涉及Oxide隧穿层及Poly-Si层的生长。

在LPCVD设备中，反应管是整个设备的核心之一，已知的反应管中，通过密封圈来密封石英管，以实现石英管内的真空环境。然而，已知的反应管的密封结构，由于密封圈非常容易老化，使用寿命很短，因此需要频繁地更换。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决已知技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出了一种反应管的密封结构，能够延长密封件的使用寿命。

根据本实用新型实施例的反应管的密封结构，用于密封所述反应管的法兰部和石英管部，所述法兰部和所述反应管的炉体连接；所述石英管部包括石英内管和石英外管，所述石英内管插入所述石英外管内，所述石英外管插入所述炉体内，所述石英外管的轴向一端的第一外周部和所述法兰部的第一内周部相对；所述第一外周部和所述第一内周部之间，设置有至少两个密封件，所述密封件沿所述石英外管的轴向间隔排布。

本实施例的反应管的密封结构，至少具有如下有益效果：由于将密封件设置在石英外管和法兰部之间，能够大大降低密封件的受热强度，延长密封件的使用寿命。

在一些实施例中，各所述密封件沿所述石英外管的轴向分别被压缩。

在一些实施例中，所述法兰部包括第一法兰件和第二法兰件，所述第一法兰件的轴向的一端和所述炉体连接，所述第一法兰件的轴向的另一端和所述第二法兰件连接。

在一些实施例中，各所述密封件分别设置在所述第一外周部和所述第一法兰件的第二内周部之间；所述第二法兰件在与所述第一法兰件相对的一端，设置有沿轴向延伸的嵌入部，所述嵌入部嵌入所述第一外周部和所述第二内周部之间，并使各所述密封件沿所述石英外管的轴向分别被压缩。

在一些实施例中，所述第二内周部内形成与所述嵌入部相对的支撑面。

在一些实施例中，相邻的所述密封件之间，所述嵌入部和与所述嵌入部相对的所述密封件之间，以及所述支撑面和与所述支撑面相对的所述密封件之间，分别设置有隔开件。

在一些实施例中，各所述隔开件沿所述石英外管的轴向分别被压缩。

在一些实施例中，所述石英外管的轴向的一端的第三内周部，和所述石英内管的轴向的一端的第二外周部之间，设置有挡热件。

在一些实施例中，所述挡热件在与所述第二外周部相对的一侧，设置有热反射面。

在一些实施例中，所述法兰部内设置有沿周向延伸的冷却通道。

附图说明

图1是本实用新型的反应管的一种实施例的剖视图。

图2是图1中的A处的局部放大图。

具体实施方式