[实用新型]一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置

说明书

本实用新型公开了一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，涉及加热保护领域，针对气相沉积钽腔体的底座加热保护的问题，现提出如下方案，包括固定盒，所述固定盒的正面壳体内壁通过螺栓连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆靠近驱动电机的一端外圈转动套接有隔离板，所述隔离板的外壁周圈固定套接在固定盒的内壁周圈里，所述螺纹杆的外圈转动套接有螺纹套，所述螺纹套的左侧壳体外壁焊接有固定杆，所述固定杆的左端固定连接有连接块。本实用新型设计新颖，方便对气相沉积钽腔体的底座进行固定、加持，从而在对气相沉积钽腔体的底座进行加热的时候可以快速的安装，由此提高了效率，适合进行市场推广。

技术领域

本实用新型涉及加热保护技术领域，尤其涉及一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置。

背景技术

气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层。气相沉积技术按照成膜机理，可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积。

物理气相沉积是通过蒸发，电离或溅射等过程，产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理气象沉积方法有真空镀，真空溅射和离子镀三种，应用较广的是离子镀。离子镀是借助于惰性气体辉光放电，使镀料(如金属钛)气化蒸发离子化，离子经电场加速，以较高能量轰击工件表面，此时如通入CO2，N2等反应气体，便可在工件表面获得TiC,TiN覆盖层，硬度高达2000HV。离子镀的重要特点是沉积温度只有500℃左右，且覆盖层附着力强，适用于高速钢工具，热锻模等。

由于在进行加热试验时，需要使装置安装、固定在加热装置的上方，现有的固定装置安装非常繁琐、耗时，不利于进行高效的试验。为此我们提出一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置。

实用新型内容

本实用新型提出的一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，解决了气相沉积钽腔体的底座加热保护的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，包括固定盒，所述固定盒的正面壳体内壁通过螺栓连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆靠近驱动电机的一端外圈转动套接有隔离板，所述隔离板的外壁周圈固定套接在固定盒的内壁周圈里，所述螺纹杆的外圈转动套接有螺纹套，所述螺纹套的左侧壳体外壁焊接有固定杆，所述固定杆的左端固定连接有连接块，且固定杆的外圈滑动套接在固定盒的左侧壳体内圈里，所述连接块的左侧焊接有第一夹板，所述螺纹杆的中部外圈固定套接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮的右侧设有第二锥齿轮，且第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合传动，所述第二锥齿轮的右侧内圈固定套接有螺纹栓，所述螺纹栓的外圈转动贯穿固定盒的右侧壳体。

优选的，所述固定盒的背面壳体和隔离板的中部壳体均开设有第一通孔，所述第一通孔的内圈固定套接有第一轴承，所述第一轴承的内圈固定套接在螺纹杆的外圈上。

优选的，所述固定盒的左侧壳体开设有滑道，所述固定杆的外圈滑动套接在滑道的内圈里。

优选的，所述固定盒的右侧壳体开设有第二通孔，所述第二通孔的内圈固定套接有第二轴承，所述第二轴承的外圈固定套接在螺纹栓的外圈上。

优选的，两个所述第一夹板相互靠近的一侧均固定连接有弹簧，两个所述弹簧相互靠近的一端均固定连接有第二夹板。

优选的，所述第一夹板和第二夹板相互靠近的一侧设有三个弹簧，两个所述第二夹板相互靠近的一侧均固定连接有橡胶垫。