[实用新型]一种物理化学电镀加工用产品检测装置

说明书

本实用新型公开了一种物理化学电镀加工用产品检测装置，涉及电镀检测领域，针对电镀机器中没有产品制程后表面形貌检测的问题，现提出如下方案，包括检测台，所述检测台的正面壳体内壁通过螺栓连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有第一转轴，所述第一转轴远离驱动电机的一端焊接有蛇形杆，所述蛇形杆远离第一转轴的一端焊接有第二转轴，所述第二转轴远离蛇形杆的一端转动连接在检测台的背面壳体内壁上，所述蛇形杆的外圈转动套接有三个固定环，位于中间所述固定环的顶部壳体外壁铰接有固定杆。本实用新型设计新颖，方便对电镀完成后的产品进行检测，从而对产品制程后俯表面形貌进行区分，由此可以提高生产质量，适合进行市场推广。

技术领域

本实用新型涉及电镀检测技术领域，尤其涉及一种物理化学电镀加工用产品检测装置。

背景技术

电镀就是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，是利用电解作用使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜的工艺从而起到防止金属氧化(如锈蚀)，提高耐磨性、导电性、反光性、抗腐蚀性(硫酸铜等)及增进美观等作用。不少硬币的外层亦为电镀。电镀时，镀层金属或其他不溶性材料做阳极，待镀的工件做阴极，镀层金属的阳离子在待镀工件表面被还原形成镀层。为排除其它阳离子的干扰，且使镀层均匀、牢固，需用含镀层金属阳离子的溶液做电镀液，以保持镀层金属阳离子的浓度不变。电镀的目的是在基材上镀上金属镀层，改变基材表面性质或尺寸。电镀能增强金属的抗腐蚀性(镀层金属多采用耐腐蚀的金属)、增加硬度、防止磨耗、提高导电性、光滑性、耐热性和表面美观。

现有的化学电镀机器中没有产品制程后表面形貌的侦测系统，如果晶圆形貌不完整，机器无法实时侦测到，从而影响制程的质量。为此我们提出一种物理化学电镀加工用产品检测装置。

实用新型内容

本实用新型提出的一种物理化学电镀加工用产品检测装置，解决了电镀机器中没有产品制程后表面形貌检测的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种物理化学电镀加工用产品检测装置，包括检测台，所述检测台的正面壳体内壁通过螺栓连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有第一转轴，所述第一转轴远离驱动电机的一端焊接有蛇形杆，所述蛇形杆远离第一转轴的一端焊接有第二转轴，所述第二转轴远离蛇形杆的一端转动连接在检测台的背面壳体内壁上，所述蛇形杆的外圈转动套接有三个固定环，位于中间所述固定环的顶部壳体外壁铰接有固定杆，所述固定杆的顶端铰接有伸缩柱，所述伸缩柱的外圈活动套接有套筒，所述套筒的顶部外壁周圈焊接在检测台的顶部壳体内圈里，位于两侧所述固定环相互远离的一侧壳体外壁均铰接有第一连接杆，所述第一连接杆远离固定环的一端铰接有第二连接杆，所述第二连接杆的中部转动连接在检测台的背面顶部壳体内壁上，所述第二连接杆的顶端铰接有第三连接杆，且第二连接杆的外圈贯穿检测台的顶部壳体，两个所述第三连接杆相互靠近的一端均铰接有检测板。

优选的，所述第二转轴远离蛇形杆的一端外圈固定套接有轴承，所述轴承的背面壳体固定连接在检测台的背面壳体内壁上。

优选的，所述检测台的顶部壳体开设有通孔，所述套筒的顶部外圈焊接在通孔的内圈里。

优选的，所述检测台的顶部左右两侧壳体均开设有开口，所述第二连接杆的外圈贯穿开口的内圈里。

优选的，所述第二连接杆的中部背面壳体转动连接有凸杆，所述凸杆远离第二连接杆的一端固定连接在检测台的背面壳体内壁上。

优选的，所述检测板的底部壳体固定连接有滑块，所述检测台的顶部壳体外壁开设有滑槽，所述滑块的外圈滑动套接在滑槽的内圈里。