[实用新型]一种扩散泵泵芯

权利要求书

1.一种扩散泵泵芯，其特征在于，包括位于中部的泵芯体，泵芯体上端设置顶喷嘴伞盖，泵芯体的外表面由上至下设有若干个喷嘴伞盖，相邻喷嘴伞盖之间设有包围在泵芯体外的分流导流腔；顶喷嘴伞盖通过连接杆与最下方喷嘴伞盖处的法兰相连，法兰下固定连接设置保温罩，保温罩底端固定连接底座油盘，最下方喷嘴伞盖处的法兰下连接有用于降低返油率的挡流圈。

2.根据权利要求1所述的一种扩散泵泵芯，其特征在于，所述挡流圈呈管状且其顶端设有法兰板，挡流圈通过法兰板固定连接在最下方喷嘴伞盖处的法兰上；最下方的分流导流腔上设有一个用于提高抽气量的抽气口。

3.根据权利要求2所述的一种扩散泵泵芯，其特征在于，所述泵芯体呈管状，泵芯体中心形成蒸汽导流腔；每个喷嘴伞盖处设有一个盘状法兰，相邻盘状法兰通过若干根连杆相连。

4.根据权利要求3所述的一种扩散泵泵芯，其特征在于，每个分流导流腔其上端与上方喷嘴伞盖处的法兰固定相连，每个分流导流腔其下端与下方的喷嘴伞盖的上端固定相连。

5.根据权利要求4所述的一种扩散泵泵芯，其特征在于，所述顶喷嘴伞盖固定连接在连接杆顶端，连接杆通过连接块与泵芯体固定相连，每块法兰均与其对应高度处的喷嘴伞盖的内壁设有间距。