[实用新型]一种晶圆测试探针卡有效
| 申请号： | 202021751628.2 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN212808385U | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李锦光 | 申请（专利权）人： | 广东全芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 深圳叁众知识产权代理事务所(普通合伙) 44434 | 代理人： | 杜立光 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松山湖*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测试 探针 | ||
1.一种晶圆测试探针卡，其特征在于，包括：
探针卡(1)；
卡夹(2)；
空心导热板(3)，
其中，所述探针卡(1)外壁上方通过卡接固定连接有卡夹(2)，所述探针卡(1)顶部中央通过卡接固定连接有空心导热板(3)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试探针卡，其特征在于：所述探针卡(1)还包括：
保温槽(101)；
探针(102)，
其中，所述探针卡(1)底部中央通过树脂粘结固定连接有探针(102)，所述探针卡(1)顶部中央位于空心导热板(3)卡接部位开设有保温槽(101)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆测试探针卡，其特征在于：所述卡夹(2)还包括：
固定座(201)；
固定销(202)，
其中，所述卡夹(2)底部四周边缘区域通过一体成型阵列排布有固定销(202)，所述卡夹(2)顶部外壁中央通过一体成型有固定座(201)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆测试探针卡，其特征在于：所述空心导热板(3)还包括：
循环管(301)；
连接头(302)；
防水封边(303)，
其中，所述空心导热板(3)两侧中央通过一体成型有连接头(302)，所述连接头(302)一端通过管接头固定连接有循环管(301)，所述空心导热板(3)四周边缘处通过卡接固定连接有防水封边(303)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆测试探针卡，其特征在于：所述探针卡(1)四周边缘位于固定销(202)下方开设有销孔。
6.根据权利要求4所述的一种晶圆测试探针卡，其特征在于：所述循环管(301)进水口一端与出水口一端通过连接软管固定连接有保温液循环箱。
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