[实用新型]一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置有效
| 申请号： | 202021750956.0 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN213207289U | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 吴海荣 | 申请（专利权）人： | 苏州普业仪器有限公司 |
| 主分类号： | F17D3/01 | 分类号： | F17D3/01 |
| 代理公司： | 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 | 代理人： | 陈映辉 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 流量 监控 功能 icp 气流 保护装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置，包括氩气管(1)，其特征在于：所述氩气管(1)内设置有压缩氩气，所述氩气管(1)上依次设置有减压阀(2)和质量流量控制器(3)，所述质量流量控制器(3)位于减压阀(2)的出气端，所述质量流量控制器(3)的输出端双向信号连接有ICP主控系统的上位机软件(4)，所述ICP主控系统的上位机软件(4)的输出端双向信号连接有气流保护系统(5),所述气流保护系统(5)的输出端电性连接有ICP设备的供电设备(6)。
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