[实用新型]一种真空排气装置

权利要求书

1.一种真空排气装置，其特征在于：包括主管道件、干式涡旋泵、检漏仪、分子泵、真空检测仪及多个第一阀体，干式涡旋泵经由分子泵与主管道件连通，主管道件分别经由多个第一阀体与外界的多个排气器件连通，第一阀体用于调控主管道件与排气器件的通断；第一阀体、排气器件一一对应，检漏仪分别连通干式涡旋泵及分子泵，干式涡旋泵与分子泵配合用于对多个排气器件进行真空排气，真空检测仪用于测量排气器件的真空度，检漏仪用于检测排气器件是否漏气。

2.根据权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于：还包括升降机构及与升降机构配合使用的烘烤箱，升降机构用于驱动烘烤箱罩设住与主管道件连通的排气器件，烘烤箱用于加热排气器件，干式涡旋泵与分子泵配合并对烘烤箱加热的排气器件进行真空排气。

3.根据权利要求2所述的真空排气装置，其特征在于：烘烤箱包括导热箱、罩设在导热箱外侧的外壳箱、设置在导热箱与外壳箱之间的发热电极、设置于外壳箱的驱动电机、设置于驱动电机的输出轴的风扇；导热箱与外壳箱之间形成有过气间隙，驱动电机、风扇均位于过气间隙内；导热箱具有用于容设主管道件及排气器件的容置盲腔，容置盲腔贯穿导热箱的底面；升降机构用于连接至外壳箱的上端。

4.根据权利要求3所述的真空排气装置，其特征在于：烘烤箱还包括隔热层及测温探头，隔热层设置于外壳箱的内侧，隔热层位于导热箱与外壳箱之间，过气间隙位于导热箱与隔热层之间；测温探头突伸入过气间隙内；外壳箱具有与过气间隙连通的透气孔及用于启闭透气孔的第二阀体。

5.根据权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于：还包括充氮设备及第三阀体，充氮设备经由第三阀体与主管道件连通，第三阀体用于调控主管道件与充氮设备的通断，充氮设备用于向排气器件内充入氮气。

6.根据权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于：还包括消气剂设备及第四阀体，消气剂设备经由第四阀体与主管道件连通，第四阀体用于调控消气剂设备与主管道件的通断，消气剂设备用于激活排气器件内的消气剂。

7.根据权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于：还包括支管道件、第五阀体及第六阀体，干式涡旋泵经由支管道件与分子泵连通，第五阀体用于调控支管道件与干式涡旋泵之间的通断；检漏仪经由第六阀体与支管道件连通，第六阀体用于调控检漏仪与支管道件之间的通断。