[实用新型]用于磁悬浮分子泵安全轴承的减震弹片及磁悬浮分子泵

说明书

本实用新型提供的用于磁悬浮分子泵安全轴承的减震弹片及具有其的磁悬浮分子泵，属于磁悬浮分子泵技术领域，其中，减震弹片用于支撑在磁悬浮分子泵的安全轴承外侧与轴承座之间，包括：弹片本体，采用能够进行弹性变形的材料制成，并且所述弹片本体的横截面为波形结构；本实用新型的用于磁悬浮分子泵安全轴承的减震弹片，在安全轴承与轴承座之间可起到柔性连接的作用，当磁悬浮分子泵停止，回旋部件跌落的过程中，安全轴承用于承接回旋部件，此时安全轴承与轴承座之间的弹片本体起到减震、吸能的作用，弹片本体的波形结构可以很好的缓冲回旋部件带来的冲击力，避免安全轴承与轴承座之间的冲击过大，同时，具有调节轴承与轴承座公差的作用。

技术领域

本实用新型涉及磁悬浮分子泵技术领域，具体涉及一种用于磁悬浮分子泵安全轴承的减震弹片及具有其的磁悬浮分子泵。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。磁悬浮分子泵，是半导体工业关键核心零部件之一，也是最高端的真空获得设备。

磁悬浮分子泵在泵体内间隔分布有：动叶片和静叶片，其中，动叶片连接在主轴上，通过主轴带动旋转，所述主轴的上下两端分别适于与安全轴承配合，而安全轴承设置在轴承座内，安全轴承在分子泵正常工作中，是处于非工作状态的，即不与主轴配合；当磁悬浮分子泵处于非正常状态，主轴和动叶片从悬浮状态跌落，此时安全轴承便起到保护动叶片安全的作用。

然而，主轴和动叶片在跌落的过程中，主轴与轴承之间会产生很大的撞击力，若轴承与轴承座是硬性连接，这个冲击力会直接传递到轴承座上，所带来的影响是巨大的。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的磁悬浮分子泵的安全轴承的轴承座，在磁悬浮分子泵停止时，容易受到较大冲击力的缺陷，从而提供一种用于磁悬浮分子泵安全轴承的减震弹片及具有其的磁悬浮分子泵。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于磁悬浮分子泵安全轴承的减震弹片，用于支撑在磁悬浮分子泵的安全轴承外侧与轴承座之间，包括：

弹片本体，采用能够进行弹性变形的材料制成，并且所述弹片本体的横截面为波形结构。

作为优选方案，所述弹片本体采用金属薄片制成。

作为优选方案，所述弹片本体的厚度为：0.05±0.01mm。

作为优选方案，所述弹片本体的横截面为均匀的波形结构。

作为优选方案，所述弹片本体的横截面的厚度为：0.23±0.02mm。

作为优选方案，所述弹片本体的横截面的波形结构的波长为：1.5～1.8mm。

作为优选方案，所述弹片本体为可弯曲的长条形结构。

本实用新型提供一种磁悬浮分子泵，包括主轴和设置在主轴两端的安全轴承，所述安全轴承设置在轴承座上，至少一个所述安全轴承的外侧与轴承座之间设置有上述方案中任一项所述的用于磁悬浮分子泵安全轴承的减震弹片。

作为优选方案，所述减震弹片与所述安全轴承和所述轴承座直接连接。

作为优选方案，所述弹片本体为两端不连接的围绕在磁悬浮分子泵的安全轴承外侧。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的用于磁悬浮分子泵安全轴承的减震弹片，用于套设在安全轴承的外侧与轴承座之间，在安全轴承与轴承座之间可起到柔性连接的作用，在磁悬浮分子泵正常运转时，安全轴承不工作，当磁悬浮分子泵停止，回旋部件跌落的过程中，安全轴承用于承接回旋部件，此时安全轴承与轴承座之间的弹片本体起到减震、吸能的作用，弹片本体的波形结构可以很好的缓冲回旋部件带来的冲击力，避免安全轴承与轴承座之间的冲击过大。