[实用新型]一种湿法处理用晶圆浸泡装置

权利要求书

1.一种湿法处理用晶圆浸泡装置，包括挡板(1)、电动推杆(2)和箱体(17)，所述挡板(1)安装于第二气缸(11)底部输出轴上，所述电动推杆(2)锁固于底座(12)顶端面前端；

其特征在于：还包括格挡密封机构(9)，所述格挡密封机构(9)设置于所述箱体(17)后端，所述格挡密封机构(9)包括底板(91)、延伸板(92)、限位板(93)、收集机构(94)和密封片(95)，所述底板(91)紧固于所述箱体(17)后端面中下部，且所述底板(91)左右两端设置有所述延伸板(92)，所述延伸板(92)和所述底板(91)后端顶部设置有所述限位板(93)，所述收集机构(94)设置于所述底板(91)底部，所述密封片(95)粘贴于所述挡板(1)前端面，且所述密封片(95)贴合于所述箱体(17)后端面。

2.根据权利要求1所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述格挡密封机构(9)还包括固定板(96)、海绵片(97)、L型板(98)、挤压板(99)、橡胶片(910)和微型弹簧(911)；所述固定板(96)嵌入于所述箱体(17)后端面中上部，且所述固定板(96)后端面粘贴有所述海绵片(97)，所述L型板(98)对称安装有两个，所述L型板(98)安装于所述箱体(17)后端面中部，且两个所述L型板(98)左右对立面分别用于贴合于所述挡板(1)左右端面，所述挤压板(99)通过所述微型弹簧(911)连接于所述L型板(98)内侧后端面，且所述挤压板(99)前端面紧固有所述橡胶片(910)，所述橡胶片(910)用于紧贴于所述挡板(1)后端面。

3.根据权利要求2所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述电动推杆(2)顶部输出轴紧固于滑动架(3)顶端面，所述滑动架(3)滑动安装于所述底座(12)顶端面前端锁合的支撑架(4)上，且所述滑动架(3)顶端面中部和底端面后端分别安装有第一气缸(5)和连接杆(6)，所述第一气缸(5)底部输出轴穿过所述滑动架(3)顶端面后固定连接于转杆(7)顶端面，所述连接杆(6)穿过所述箱体(17)顶端面后铰接于片盒(13)顶端面中部，所述转杆(7)穿过所述箱体(17)顶端面后铰接于所述片盒(13)顶端面前端。

4.根据权利要求3所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述箱体(17)顶端面左侧和后端面中部分别开设有进液口(8)和窗口(10)，且所述箱体(17)内侧底端开设有浸泡槽(14)，所述第二气缸(11)通过L型刚件(18)锁固安装于所述箱体(17)后端顶部，所述浸泡槽(14)内侧前端嵌入有加热板(15)，且所述浸泡槽(14)顶部后端设置有进风管(16)，所述进风管(16)安装于所述箱体(17)内侧后端面中下部。

5.根据权利要求2所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述收集机构(94)包括收集盒(941)、凸块(942)、凹槽(943)、卡块(944)、卡槽(945)、透明板(946)和透孔(947)，所述收集盒(941)贴合于底板(91)底端面，所述凸块(942)紧固于所述收集盒(941)前端面中部，且所述凸块(942)沿着所述箱体(17)后端面中下部开设的所述凹槽(943)内侧左右滑动，所述卡块(944)设置于所述凸块(942)上下端面中部，且所述卡块(944)活动伸入于卡槽(945)内侧，所述卡槽(945)开设于所述凹槽(943)内侧上下两端，所述透明板(946)嵌入于所述收集盒(941)后端面中下部，所述透孔(947)贯通于所述底板(91)上下两端中部，且所述透孔(947)落入到所述收集盒(941)内侧范围内。

6.根据权利要求2所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述延伸板(92)呈倾斜向上延伸状，且两个所述延伸板(92)左右对立面与所述底板(91)顶端面呈120°夹角。

7.根据权利要求2所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述橡胶片(910)前端面顶部呈由下而上渐缩的斜面状，且所述橡胶片(910)前端面为光滑无毛刺。