[实用新型]一种辅助靶材测量工装

说明书

本实用新型公开了一种辅助靶材测量工装，包括对称设置的底座一和底座二，所述底座一和底座二的上方均设有滑槽，所述滑槽内设有对称设置的滑块一和滑块二，所述滑块一和滑块二上设有贯穿滑块一和滑块二的正反螺杆，所述滑槽的两端设有与正反螺杆转动配合的挡块，所述正反螺杆的一端伸出至滑槽的外侧连接设有摇把，所述滑块一和滑块二分别伸出至滑槽的外侧连接设有承载座一和承载座二，所述承载座一和承载座二上分别设有对称设置的托槽，所述托槽内设有滚针轴承，所述底座二上设有液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的顶部设有减速电机，所述减速电机的输出端设有与靶材相配合的转轮。本实用新型的优点在于：安全性高、测量精度高、不会损伤靶材。

技术领域

本实用新型涉及靶材测试技术领域，具体是指一种辅助靶材测量工装。

背景技术

靶材是通过磁控溅射在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。目前，靶材的形状主要有平面靶和旋转靶。对于旋转靶，一般均做成等轴圆柱形。

旋转靶材自身往往具有较长的尺寸，同时由于旋转靶材自身采用金属材料制成，因此具有较大的质量。现有技术中，在对旋转靶材的不同位置的尺寸、粗糙度等参数进行测试时往往需要旋转旋转靶材，目前通常是将旋转靶材放置在测试平台上，在测试平台和旋转靶材之间垫上泡棉，两个工作人员同时拿着旋转靶材的两端进行旋转，此种方式极易因翻转靶材导致靶材与泡棉大面积摩擦，造成旋转靶材表面镀膜的损伤和污染，甚至伤及工作人员，且两工作人员在旋转过程不仅费力也可能因旋转角度不统一造成同一批靶材的测量位置不统一。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服以上困难，提供一种安全性高、测量精度高、不会损伤靶材的一种辅助靶材测量工装。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种辅助靶材测量工装，包括对称设置的底座一和底座二，所述底座一和底座二的上方均设有滑槽，所述滑槽内设有对称设置的滑块一和滑块二，所述滑块一和滑块二上设有贯穿滑块一和滑块二的正反螺杆，所述滑槽的两端设有与正反螺杆转动配合的挡块，所述正反螺杆的一端伸出至滑槽的外侧连接设有摇把，所述滑块一和滑块二分别伸出至滑槽的外侧连接设有承载座一和承载座二，所述承载座一和承载座二上分别设有对称设置的托槽，所述托槽内设有滚针轴承，所述滚针轴承上设有靶材，所述底座二上设有液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的顶部设有减速电机，所述减速电机的输出端设有与靶材相配合的转轮，所述底座二的一侧设有电控箱，所述电控箱分别与液压伸缩杆和减速电机电性连接。

作为改进，所述底座一和底座二的下方均设有滚轮，所述滚轮上均设有锁止装置。

作为改进，所述挡块分别与底座一和底座二固定连接。

作为改进，所述液压伸缩杆靠近底座一设置。

作为改进，所述转轮与靶材贴合设置。

本实用新型与现有技术相比的优点在于：所述转轮的旋转，会带动靶材的旋转，便于工作人员对靶材进行测量，所述承载座一和承载座二之间的距离可以调节，转轮的高度可以调节，以适应于不同直径靶材的测量，所述底座一和底座二的下方均设有滚轮，工作人员可以根据靶材的长度情况来调节底座一和底座二之间的距离，所述滚轮上设有锁止装置，可以对测量装置进行固定，便于工作人员对靶材进行测量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型图1中A-A处剖视状态的结构示意图。

如图所示：1、底座一，2、底座二，3、滑槽，4、滑块一，5、滑块二，6、正反螺杆，7、挡块，8、摇把，9、承载座一，10、承载座二，11、托槽，12、滚针轴承，13、靶材，14、液压伸缩杆，15、减速电机，16、转轮，17、电控箱，18、滚轮，19、锁止装置。

具体实施方式