[实用新型]一种料带接合器专用转运装置

说明书

本实用新型公开了半导体制造领域内的一种料带接合器专用转运装置，包括四根相互对应分布的支撑立柱，支撑立柱的轴线竖直设置，各支撑立柱之间分别设置有从上到下依次排列分布的水平操作平台板、支撑面板一和支撑面板二，支撑面板一上放置有第一接合器，所述支撑面板二上放置有第二接合器，位于左侧的两根支撑立柱之间设置有左侧围挡组件，位于右侧的两根支撑立柱之间设置有右侧围挡组件，位于后侧的两根支撑立柱之间设置有后侧围挡组件；所述操作平台板的左侧纵向设置有U形抓握把手，所述支撑面板二的下侧对称设置有至少四个万向轮。本实用新型能够用于放置和运送接合器，并承载料带的裁切和接合作业。

技术领域

本实用新型属于半导体制造领域，特别涉及一种料带接合器专用转运装置。

背景技术

IC芯片通常由单晶硅圆片制成，晶圆经过切割后形成多个小晶粒即IC芯片，通常将多个IC芯片用基板依次间隔固定在料带上，输送机构将料带向后传送，使得每个IC芯片依次传递到后续加工作业区；料带上设置有保护带，起到保护IC芯片的作用。料带接合器可以用于料带的裁切和接合。

现有技术中，机台设备上通常设置有自带的接合器放置平台，机台上设置有可容放置平台前后滑动的导轨，平常不使用料带接合器时，将料带接合器摆放在放置平台上，需要使用时将放置平台抽拉出来，使得料带接合器位于外面，以进行料带的裁切和接合作业；其不足之处在于：放置平台沿着导轨进行抽拉的过程中易产生小颗粒，容易引发静电导致IC产品的品质异常；不同的机台分别都使用接合器时，需要频繁移动拿取接合器； 因接合器属精密治具且质量较重，搬动过程中易损坏，不便于人员拿取作业；仅仅局限于单一机台，不可用于其他类型的机台。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种料带接合器专用转运装置，能够用于放置和运送接合器，并承载料带的裁切和接合作业，避免接合器频繁靠人力拿取至机台，移动更加方便，便于人员操作。

本实用新型的目的是这样实现的：一种料带接合器专用转运装置，包括四根相互对应分布的支撑立柱，支撑立柱的轴线竖直设置，各支撑立柱之间分别设置有从上到下依次排列分布的水平操作平台板、支撑面板一和支撑面板二，操作平台板与支撑立柱顶端相平齐，支撑面板二与支撑立柱下端相平齐，支撑面板一位于操作平台板和支撑面板二之间，所述支撑面板一上放置有第一接合器，所述支撑面板二上放置有第二接合器，位于左侧的两根支撑立柱之间设置有左侧围挡组件，位于右侧的两根支撑立柱之间设置有右侧围挡组件，位于后侧的两根支撑立柱之间设置有后侧围挡组件；所述操作平台板的左侧纵向设置有U形抓握把手，所述支撑面板二的下侧对称设置有至少四个万向轮。

本实用新型的支撑面板一和支撑面板二上分别放置型号规格不同的第一接合器、第二接合器，通过人员抓住抓握把手可以推动装置移动，移动到料带的位置后，选择相对应的第一接合器或第二接合器，将其搬到操作平台板上，在平台上对料带进行裁切和接合作业。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：转运装置可摆放运送接合器，便于人员搬运接合器；放置两台接合器，可用于不同类型机台料带裁切接合的选择；增加操作平台，提高人员作业效率，保证料带的裁切接合品质；避免机台接合器平台抽拉过程中产生小粒子引发静电，减少金属颗粒对IC产品的污染。

作为本实用新型的进一步改进，四根所述支撑立柱围成矩形设置。

作为本实用新型的进一步改进，所述左侧围挡组件包括两根分别位于支撑面板一上方和下方的左侧加强横杆，左侧的两根支撑立柱之间还设有防静电PVC网格帘；右侧围挡组件包括两根分别位于支撑面板一上方和下方的右侧加强横杆，右侧的两根支撑立柱之间还设有防静电PVC网格帘；后侧围挡组件包括两根分别位于支撑面板一上方和下方的后侧加强横杆，后侧的两根支撑立柱之间还设有防静电PVC网格帘。各加强横杆起到提高装置结构强度的作用，并且可以防止接合器掉到外面，防静电PVC网格帘起到防静电作用。

作为本实用新型的进一步改进，所述支撑面板一和支撑面板二表面均设置有与相应接合器接触的绿色静电皮。静电皮起到防静电的作用。