[实用新型]一种光刻机的硅片直线预矫正装置

权利要求书

1.一种光刻机的硅片直线预矫正装置，包括机架，所述机架上设置有由第一升降动力装置驱动的升降平台，其特征在于：所述直线预矫正装置安装于机架上，该直线预矫正装置包括水平滑座，所述水平滑座滑动安装于机架上且由水平动力装置驱动；所述水平滑座上设置有竖直支座，所述竖直支座上竖直滑动安装有一次升降座，所述一次升降座由第二升降动力装置驱动，所述一次升降座上还安装有顶推硅片盛放盒内硅片的矫正杆，所述矫正杆上设置有与硅片端部接触的柔性材料。

2.如权利要求1所述的一种光刻机的硅片直线预矫正装置，其特征在于：所述矫正杆包括两根竖直杆和连接竖直杆之间的连接杆，所述连接杆安装于所述一次升降座上，所述竖直杆的长度与硅片盛放盒内叠置的硅片总高度适配，所述柔性材料设置于两根竖直杆上，设定水平滑座的滑动方向为X方向，所述两根竖直杆与硅片盛放盒内的硅片边缘矫正接触的两个部位分别为部位一和部位二，所述部位一和部位二的位置相对于硅片与X方向平行的直径对称。

3.如权利要求2所述的一种光刻机的硅片直线预矫正装置，其特征在于：所述竖直杆与硅片接触的一侧设置成斜面或者与硅片边缘完全吻合的圆弧面。

4.如权利要求3所述的一种光刻机的硅片直线预矫正装置，其特征在于：所述一次升降座上竖直升降滑动安装有二次升降座，所述一次升降座上安装有驱动二次升降座升降的第三升降动力装置，所述连接杆安装于二次升降座上。

5.如权利要求4所述的一种光刻机的硅片直线预矫正装置，其特征在于：所述连接杆上设置有至少两根水平导杆，所述二次升降座上设置有方便水平导杆滑动安装的水平安装槽，所述水平安装槽内设置有弹性缓冲件。

6.如权利要求5所述的一种光刻机的硅片直线预矫正装置，其特征在于：所述水平动力装置、第一升降动力装置、第二升降动力装置均为直线电机模组，所述第三升降动力装置为直线电机模组或者气缸。

7.如权利要求6所述的一种光刻机的硅片直线预矫正装置，其特征在于：所述机架包括底座和安装于底座上的立柱，所述立柱的上端设置了所述升降平台，所述立柱的中部设置了中间安装支座，所述直线预矫正装置安装于中间安装支座上。