[实用新型]一种晶圆旋转上料定位结构

说明书

本实用新型提供一种晶圆旋转上料定位结构，包括滑动设置在机架上的晶圆夹持机构，以及转动设置在机架上的转运吸盘；晶圆夹持机构将晶圆托盘移动到转运位停下，中间避障位的转运吸盘从晶圆夹持机构的对侧转动到转运位并吸附晶圆托盘；晶圆夹持机构松开晶圆托盘并继续直线运动移开之后，转运吸盘将晶圆托盘转动到加工转运位。不在转运位设置放置晶圆托盘的托料架，直接在晶圆夹持机构夹持状态下使用转动吸盘吸附晶圆托盘。节省了工序，不需要重新定位。

技术领域

本实用新型属于硅晶圆加工领域，具体涉及一种晶圆旋转上料定位结构。

背景技术

晶圆激光加工时，需要使用晶圆夹持机构将晶圆托盘从晶圆存料盒中取出，并直线移动到转运位上方。转运位下方设置托料架，夹持机构松开晶圆托盘使其放置在转运位的托料架上，夹持机构继续移动到远离转运位。然后转运吸盘吸附晶圆托盘并转动使其移动到加工转运位上方，切割平台的晶圆真空吸盘也移动的加工转运位上并接收晶圆托盘。晶圆夹持机构将晶圆托盘放置到托料架的过程中，可能会有一定的误差，需要保证位置准确。这些位置偏差包括晶圆夹持机构松开夹持的过程中，下夹持板向下移动，上夹持板却与晶圆托盘接触。随后，晶圆夹持机构移开，上夹持板与晶圆托盘之间产生摩擦力在一定程度上会影响晶圆托盘的位置。以及托料架和晶圆托盘接触时是否稳固也影响晶圆托盘的位置。转运位下设置托料架机构存储晶圆托盘实际上增加了工序并且提高了成本。

实用新型内容

本实用新型提供一种晶圆旋转上料定位结构。

本实用新型的目的是以下述方式实现的：一种晶圆旋转上料定位结构，包括滑动设置在机架上的晶圆夹持机构，以及转动设置在机架上的转运吸盘；晶圆夹持机构将晶圆托盘移动到转运位停下，中间避障位的转运吸盘从晶圆夹持机构的对侧转动到转运位并吸附晶圆托盘；晶圆夹持机构松开晶圆托盘并继续直线运动移开之后，转运吸盘将晶圆托盘转动到加工转运位。

机架上对应转运位的位置设置直线转运位移传感器；晶圆夹持机构上对应位置设置直线转运位移检测条。

转运吸盘包括十字架体，十字架体末端设置架体连接板，架体连接板末端设置向下的吸头杆，吸头杆上设置负压吸嘴；吸头杆上设置与负压吸嘴联通的气体连接头，气体连接头通过负压管连接负压源头；十字架体从晶圆夹持机构的对侧转动到转运位的过程中与晶圆机构位置上避开。

机架上设置可以转动的转运连接体，转运连接体两端分别设置转运升降气缸，转运升降气缸的外侧面设置转运升降气缸导轨，转运升降气缸的活塞头固定转运连接板，转运连接板固定转运升降气缸滑块；转运升降气缸滑块与转运升降气缸导轨构成导轨副；转运升降气缸滑块外侧伸出悬臂，悬臂上固定转运吸盘；转运连接体以及两个转运吸盘可以转动360度，并且晶圆夹持机构位于机架两侧时，机架内具有转运连接体和转运吸盘转动360度的转动空间。

转运连接体上设置转运位移检测条；机架沿着转运位移检测条的转动轨迹上设置两个转运位移传感器；转运位移检测条从一个转运位移传感器移动到另一个转运位移传感器时，其中一个转运吸盘从转运位移动到加工转运位、另一个转运吸盘从加工转运位移动到转运位。

晶圆夹持机构由设置在机架上的直线转运丝杠机构带动直线移动；晶圆夹持机构包括上夹持板、下夹持板以及夹持气缸，夹持气缸与机架连接并带动上夹持板或者下夹持板任一移动使其夹持或者松开。

本实用新型的有益效果是：不在转运位设置放置晶圆托盘的托料架，直接在晶圆夹持机构夹持状态下，使用转动吸盘吸附晶圆托盘。节省了工序，不需要重新定位。

附图说明

图1是包括托料架的晶圆加工设备示意图。

图2是图1俯视剖视图（隐藏部分非运动部件）。

图3是图1另一高度平面的俯视剖视图（隐藏部分非运动部件）。

图4是转动转运机构放大图。

图5是转运吸盘部分放大图。