[实用新型]一种热板的圆片顶升装置

说明书

本实用新型公开了一种热板的圆片顶升装置，包括箱体，所述箱体上端固定设置有加热装置，所述箱体一侧臂下端固定连接有放置箱，所述放置箱内部固定设置有电机，所述电机的输出端固定连接有第一转动杆，所述第一转动杆的两端均固定连接有主动锥齿轮，所述箱体内底部固定设置有三个转动底座，所述三个转动底座内部分别转动设置有第一螺纹杆、第二螺纹杆和第三螺纹杆，所述第一螺纹杆、第二螺纹杆和第三螺纹杆底部均固定连接有从动锥齿轮，所述第一螺纹杆和第二螺纹杆之间固定设置有两个支撑座。本实用新型公开了一种热板的圆片顶升装置，该装置结构简单，使用方便，传动效率高，定位准确，可以有效的降低圆片碎片的风险，值得推广。

技术领域

本实用新型涉及圆片加工装置技术领域，尤其涉及一种热板的圆片顶升装置。

背景技术

在热板圆片生产的过程中需要对热板进行加热操作，使圆片符合使用要求，因为热板圆片是半导体圆片，在进行加热操作时的要求比较严格，所以需要使用热板圆片顶升装置进行热板圆片加热处理的放置工作。

传统的圆片顶升装置利用三根顶针通过气缸驱动圆片顶起，圆片放入到三根顶针的上方后，气缸下落，将圆片放入到加热平台上的槽内，然而，这种方式是利用气缸驱动顶针，顶针的升降动作比较快，并且基本只有两个状态，即顶针伸出接料和下降将圆片放置在槽内，而圆片此时由较低的温度快速加热到较高的温度，因此，圆片可能因为温度急剧升高而碎片，使用效果不是很好。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种热板的圆片顶升装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种热板的圆片顶升装置，包括箱体，所述箱体上端固定设置有加热装置，所述箱体一侧臂下端固定连接有放置箱，所述放置箱内部固定设置有电机，所述电机的输出端固定连接有第一转动杆，所述第一转动杆的两端均固定连接有主动锥齿轮，所述箱体内底部固定设置有三个转动底座，所述三个转动底座内部分别转动设置有第一螺纹杆、第二螺纹杆和第三螺纹杆，所述第一螺纹杆、第二螺纹杆和第三螺纹杆底部均固定连接有从动锥齿轮，所述第一螺纹杆和第二螺纹杆之间固定设置有两个支撑座，所述两个支撑座上端内部转动设置有第二转动杆，所述第二转动杆两端均固定连接有过渡锥齿轮，所述两个过渡锥齿轮分别与第一螺纹杆上的从动锥齿轮和第二螺纹杆上的从动锥齿轮齿轮啮合，所述两个主动锥齿轮分别与第一螺纹杆上的从动锥齿轮和第三螺纹杆上的从动锥齿轮齿轮啮合，所述第一螺纹杆、第二螺纹杆和第三螺纹杆外壁均螺纹连接有螺纹座，所述三个螺纹座上端均固定连接有用于顶升所述圆片的顶升杆。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述顶升杆与螺纹座固定连接，所述顶升杆顶端开设有内孔，所述内孔内部固定连接有顶针。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述顶升杆顶端的内孔为螺纹孔，所述顶针螺纹安装于所述顶升杆的内孔内部。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述加热装置内部固定开设有三个圆形通孔，所述顶升杆上下贯穿圆形通孔，所述顶升杆与圆形通孔之间设置有限位结构。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述限位结构包括设置于圆形通孔两侧的限位槽，对应的，所述顶升杆侧壁两端均设置有限位边，所述限位边在对应的限位槽内部滑动。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述放置箱侧壁固定开设有多个散热孔。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述加热装置上端固定开设有圆片放置槽。

本实用新型具有如下有益效果：