[实用新型]石英管无动力清洗装置有效
| 申请号: | 202021686399.0 | 申请日: | 2020-08-13 |
| 公开(公告)号: | CN213103610U | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
| 发明(设计)人: | 白忠华;裴文龙;陈晨;张少阳;谷晓东 | 申请(专利权)人: | 苏州芯矽电子科技有限公司 |
| 主分类号: | B08B9/023 | 分类号: | B08B9/023;B08B9/032;B08B13/00 |
| 代理公司: | 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297 | 代理人: | 陆明耀 |
| 地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 石英管 动力 清洗 装置 | ||
本实用新型揭示了一种石英管无动力清洗装置,包括一箱体;一承载机构,设置在所述箱体内,用以承载倒扣放置的石英管;一驱动组件,设置在所述承载机构的一侧,用以驱动所述承载机构自转;一多方位喷嘴,设置在所述承载机构上,用以对所述石英管的内壁进行清洗;一自动力喷嘴,设置在所述承载机构的上方,用以对所述石英管的外壁进行清洗。本实用新型的有益效果主要体现在:自动化程度高,只需将石英管倒扣在承载板上,即可实现自动清洗,多方位喷嘴对准石英管内部清洗,喷嘴可以清洗石英管内壁及石英管内壁上的死角;自动力喷嘴可在喷射力的作用下,自动转动,对石英管外壁进行清洗,无需电机的驱动,极大程度上降低成本。
技术领域
本实用新型涉及清洗设备技术领域,具体而言,尤其涉及一种石英管无动力清洗装置。
背景技术
石英制品以其优良的物理化学特性被广泛应用于集成电路芯片生产线。由于集成电路芯片的高规格要求,需要对所用的石英钟罩进行严格的清洗。现有的全自动化石英钟罩清洗装置人工操作繁琐,不能实现一体化全自动清洗功能,其清洗液一般采用人工配制和手动加入,而清洗液一般采用强酸和强碱配制成一定比例后使用,因此采用人工操作会对人体健康造成危害,且人工操作会有很多不可控制因素,人体的疲劳程度、观察角度和人员责任心都会影响清洗液的配比是否达到标准。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足,提供一种石英管无动力清洗装置。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:
一种石英管无动力清洗装置,包括
一箱体;
一承载机构,设置在所述箱体内,用以承载倒扣放置的石英管;
一驱动组件,设置在所述承载机构的一侧,用以驱动所述承载机构自转;
一多方位喷嘴,设置在所述承载机构上,用以对所述石英管的内壁进行清洗;
一自动力喷嘴,设置在所述承载机构的上方,用以对所述石英管的外壁进行清洗。
优选的,所述自动力喷嘴包括固设在所述箱体上的档条,所述档条之间设有与之固接的挡板,所述挡板上通过轴承枢轴设有一呈十字形的锁止爪,所述锁止爪上连接有相应出水管,所述出水管上设有喷头Ⅰ,所述喷头Ⅰ上开设有半弧形出水口Ⅰ,经所述半弧形出水口Ⅰ射出的水流与水平面形成夹角;所述出水管上还连接有连接管,所述连接管的中轴线与所述出水管形成的夹角为钝角,所述连接管上设有喷头Ⅱ,所述喷头Ⅱ上开设有半弧形出水口Ⅱ,经所述半弧形出水口Ⅱ射出的水流与水平面形成夹角。
优选的,所述驱动组件包括设置在所述箱体内的L形的固定板,所述固定板上固设有一驱动电机,所述驱动电机的电机轴通过联轴器与转轴固接,所述转轴上固设有一第一主动齿轮;所述箱体上还设有一固定块,所述固定块上设有一可自转地旋转柱,所述旋转柱上固设有一第一从动齿轮,所述第一从动齿轮和第一主动齿轮之间通过链条连接;所述承载机构固接在所述旋转柱上。
优选的,所述箱体上还设有用以控制所述承载机构旋转圈数的控制组件,所述控制组件包括固设在所述固设在所述转轴上的第二主动齿轮,所述固定板上固设有一第二从动齿轮,所述第二从动齿轮和所述第二主动齿轮相啮合;所述第二从动齿轮上还固设有一卡片,所述固定板上固设有一支撑块,所述支撑块上固设有一位移传感器,部分所述卡片可延伸至设置在所述位移传感器上的测量口内。
优选的,所述箱体上还设有支撑柱,所述支撑柱上枢轴设有一张紧齿轮,所述张紧齿轮与所述链条紧贴。
优选的,所述承载机构包括固设在所述旋转柱上的承载板,所述承载板上开设有一组用以排除清洗液的排水口和用以对所述石英管死角进行喷淋清洗的喷淋喷嘴,所述喷淋喷嘴由阀门控制。
优选的,所述承载板上还设有用以将所述石英管限位的限位块和限位条。
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