[实用新型]一种可升降的硅片储存装置

权利要求书

1.一种可升降的硅片储存装置，其特征在于，包括框架、设置在框架上的升降台、设置于升降台上用于存储硅片的储存箱、及设置于升降台底部用于抬升升降台的动力装置，所述动力装置包括固定设置在升降台底部的减速电机、与减速电机电机轴连接的齿轮、及设置在框架上与齿轮啮合的齿条，减速电机带动齿轮转动，通过齿条的配合实现升降台的升降，从而实现储存箱的升降。

2.根据权利要求1所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述框架包括横杆和竖杆组成的框架本体、设置在框架本体上齿条同侧的背板，所述背板上设置有导轨。

3.根据权利要求2所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述导轨设置为两个，两个导轨分别竖向设置在背板两边缘处，升降台对应导轨处设置有滑块。

4.根据权利要求2所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述框架还包括设置在背板对应侧竖杆上的角钢滑道。

5.根据权利要求4所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述角钢滑道设置为两个，两个角钢滑道分别竖向设置在竖杆上，升降台对应角钢滑道处设置有滑轮。

6.根据权利要求1所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述储存箱包括水箱箱体、设置在水箱箱体顶部的水箱盖、设置在水箱箱体内部的用于放置硅片的卡盒、设置在水箱箱体底部的排液口、及与排液口相连的排液管。

7.根据权利要求6所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述卡盒为上端无盖的长方体结构，所述卡盒侧面及底面上设置有通孔，所述通孔阵列设置。

8.根据权利要求6所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述卡盒设置为多个，多个卡盒存放硅片的数量相同。

9.根据权利要求6所述的可升降的硅片储存装置，其特征在于，所述储存箱还包括设置在水箱箱体一侧的进液口，所述水箱箱体中液位最高高度高于水箱箱体内卡盒高度。