[实用新型]基于垂向碳纳米管阵列的非转移式热界面材料结构有效
| 申请号： | 202021675879.7 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN212655734U | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 叶启开;张亮;汪小知;杨毅敏;周晴;沈龙;余国志 | 申请（专利权）人： | 杭州英希捷科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C09K5/14 | 分类号： | C09K5/14;C09K5/06;H01L23/373 |
| 代理公司： | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人： | 沈相权 |
| 地址： | 311215 浙江省杭州市萧山区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 阵列 转移 界面 材料 结构 | ||
1.一种基于垂向碳纳米管阵列的非转移式热界面材料结构，其特征在于：包括生长基底层(1)，所述的生长基底层(1)的上部与底部分别设有固定层(2)，所述的固定层(2)中设有均匀分布的垂向碳纳米管阵列(3)，所述的生长基底层(1)与固定层(2)间设有催化剂层(4)，所述的垂向碳纳米管阵列(3)的上部设有牺牲层(5)。
2.根据权利要求1所述的一种基于垂向碳纳米管阵列的非转移式热界面材料结构，其特征在于：所述的生长基底层(1)的上部与底部分别设有阻挡层(6)，所述的阻挡层(6)的上部设有与催化剂层(4)相贴合的支撑层(7)。
3.根据权利要求2所述的一种基于垂向碳纳米管阵列的非转移式热界面材料结构，其特征在于：所述的阻挡层(6)的材质为钛，所述的支撑层(7)的材质为氧化铝，所述的催化剂层(4)的材质为铁。
4.根据权利要求1或2所述的一种基于垂向碳纳米管阵列的非转移式热界面材料结构，其特征在于：所述的生长基底层(1)为金属箔层。
5.根据权利要求4所述的一种基于垂向碳纳米管阵列的非转移式热界面材料结构，其特征在于：所述的金属箔层为铜箔。
6.根据权利要求1或2所述的一种基于垂向碳纳米管阵列的非转移式热界面材料结构，其特征在于：所述的固定层(2)上部的高度低于垂向碳纳米管阵列(3)的高度；所述的牺牲层(5)的材质为聚乙烯醇。
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