[实用新型]一种紧凑型工件夹紧伸缩杆装置

说明书

本实用新型是用于晶片生产领域，具体涉及一种紧凑型工件夹紧伸缩杆装置。包括料座、料座夹和伸缩杆；料座夹包括连接板，连接板上端面中心设有套筒，连接板中心开有与套筒连通的通孔，下端面相对设有两个L形挂钩结构；连接板上端面还设有多组直线运动机构，伸缩杆穿过套筒和通孔，顶端通过水平固定杆与直线运动机构相连，直线运动机构能带动伸缩杆沿竖向运动，伸缩杆底端与料座相连，从而带动料座在挂钩结构和连接板形成的空间内沿竖向运动，工件可拆卸连接于料座底部。本实用新型在进行晶片切割生产时，能有效锁紧料座，使之不发生相对移动或晃动，从而保证了切割精度，也提高了生产效率，同时，保证了生产加工的安全性。

技术领域

本实用新型是用于晶片生产领域，具体涉及一种供晶棒切片设备夹紧工件料座的紧凑型伸缩杆装置。

背景技术

在生产晶体薄片时，需要实现料座上下移动或摇摆运动的功能。目前在生产加工过程中，未夹紧的料座会对晶棒的切割效果造成影响，不利于提高效率且不安全。随着工业4.0的到来，生产安全与生产效率是研发产品的重中之重。

为了实现晶棒切割时料座上下移动或摇摆运动时进刀单元与料座之间不产生相对运动，有必要提供一种紧凑型工件夹紧伸缩杆装置，使得晶体切割的安全问题与效率问题得到改善。

实用新型内容

本发明要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种紧凑型工件夹紧伸缩杆装置。

为解决上述技术问题，本发明采用的解决方案是：

提供一种紧凑型工件夹紧伸缩杆装置，包括料座、料座夹和伸缩杆；料座夹包括连接板，连接板上端面中心设有套筒，连接板中心开有与套筒连通的通孔，下端面相对设有两个L形挂钩结构；连接板上端面还设有多组直线运动机构，伸缩杆穿过套筒和通孔，顶端通过水平固定杆与直线运动机构相连，直线运动机构能带动伸缩杆沿竖向运动，伸缩杆底端与料座相连，从而带动料座在挂钩结构和连接板形成的空间内沿竖向运动，工件可拆卸连接于料座底部。

作为一种改进，直线运动机构为油缸。

作为一种改进，可拆卸连接是指料座下端面设有过渡板，工件粘接于过渡板上。

作为一种改进，套筒内设有无油衬套，用于伸缩杆的导向。

作为一种改进，料座整体呈T型结构，顶部两端能卡设并固定于挂钩结构上，顶部中心开有倒T型槽，伸缩杆底端为与之配合的T型结构，可滑入T型槽后向上拉紧料座。

作为一种改进，伸缩杆通过紧定螺钉与固定杆相连。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

在进行晶片切割生产时，能有效锁紧料座，使之不发生相对移动或晃动，从而保证了切割精度，也提高了生产效率，同时，保证了生产加工的安全性。

附图说明

图1为本实用新型的结构剖视图；

图2为本实用新型中料座夹的结构剖视图；

图3为料座、过渡板和工件装配结构的剖视图。

图中附图标记为：001-第一油缸；002-第二油缸；003-无油衬套；004-固定杆；005-紧定螺钉；006-伸缩杆；007-料座夹；008-料座；009-过渡板；010-工件。

具体实施方式

实施例1

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：