[实用新型]真空控制组件及镀膜设备

权利要求书

1.一种真空控制组件，用于镀膜设备的真空腔体，其特征在于，所述真空控制组件包括：

进出口腔室，所述进出口腔室与所述真空腔体相连通，所述进出口腔室上设置有出气孔；

真空泵，设于所述进出口腔室外侧，所述真空泵的抽气管与所述出气孔相连通；以及

加热器，设于所述进出口腔室表面，并靠近所述出气孔设置。

2.如权利要求1所述的真空控制组件，其特征在于，所述真空控制组件还包括：

温度传感器，所述温度传感器设于所述进出口腔室内，用于检测所述进出口腔室内部温度；以及

温度控制器，所述温度传感器、所述加热器以及所述真空泵分别与所述温度控制器电连接。

3.如权利要求2所述的真空控制组件，其特征在于，所述温度传感器靠近所述出气孔设置，并与所述加热器间隔设置。

4.如权利要求1所述的真空控制组件，其特征在于，所述加热器的数量为多个，多个所述加热器间隔设置。

5.如权利要求1所述的真空控制组件，其特征在于，所述真空控制组件还包括：

防护网模块，所述防护网模块盖设于所述出气孔上，所述加热器设于所述防护网模块上。

6.如权利要求5所述的真空控制组件，其特征在于，所述防护网模块设于所述进出口腔室的内侧。

7.如权利要求6所述的真空控制组件，其特征在于，所述加热器设于所述防护网模块背向所述出气孔的一侧。

8.如权利要求5至7任一项所述的真空控制组件，其特征在于，所述防护网模块包括：

过滤网；以及

第一边框，所述第一边框沿所述过滤网的边缘设置，所述第一边框与所述进出口腔室相连接，用于将所述过滤网压紧在所述进出口腔室的壁面上，以使所述过滤网盖设于所述出气孔上，所述加热器与所述过滤网和/或所述第一边框相连接。

9.如权利要求8所述的真空控制组件，其特征在于，所述防护网模块还包括：

第二边框，所述第二边框沿所述过滤网边缘设置，所述过滤网的边缘嵌设于所述第一边框和所述第二边框之间，所述第二边框与所述进出口腔室的壁面相连接。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括真空腔体和如权利要求1至9任一项所述的真空控制组件，所述真空控制组件的进出口腔室与所述真空腔体相连通。