[实用新型]一种激光加工设备

权利要求书

1.一种激光加工设备，其特征在于，它包括：

激光器模块，产生加工所用的激光束；

光路模块，用于对激光束进行整形以及改变激光束的传播路径，所述激光束经过所述光路模块后入射至激光扫描模块；

激光扫描模块，用于按照待加工物料的扫描路径调整所述激光束，使得所述激光束按照扫描路径对待加工物料进行扫描；

精密运动平台，包括运动控制器和运动台，所述运动控制器用于控制运动台在竖直平面内的弧摆运动，所述运动台用于放置待加工物料；

对准模块，用于观测所述运动台竖直面内的弧摆运动位置；

控制单元，包括上位机和与它连接的扫描控制器，所述上位机分别与对准模块及运动控制器相连接，所述扫描控制器分别与激光器模块及激光扫描模块相连接，用于控制激光器模块及激光扫描模块。

2.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：

所述激光器模块为飞秒激光器，所述激光束为高斯激光。

3.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：

所述光路模块包括整形扩束单元和光束切换单元，所述整形扩束单元用于调节所述激光束的平行度和光斑大小，所述光束切换单元用于改变所述激光束的传播路径。

4.根据权利要求3所述的激光加工设备，其特征在于：

所述光束切换单元包括沿依次布设的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜和第四反射镜。

5.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：

所述激光扫描模块包括扫描振镜和聚焦透镜，用于将所述激光束聚焦到待加工物料表面。

6.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：

所述对准模块为相机检测单元。

7.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：

所述运动台在竖直面内弧摆运动的行程为±10°，定位精度为±30urad，双向重复定位精度为±5urad。