[实用新型]一种用于稀薄气体动力学试验的自由分子流生成装置

权利要求书

1.一种用于稀薄气体动力学试验的自由分子流生成装置，其特征在于：所述的生成装置包括沿自由分子流流动方向顺序排列的加热电离室(2)、第一分离室(3)、离子通道(6)、离子电场加速室(7)、离子中和室(8)、第二分离室(9)、自由分子流通道(15)和试验舱(14)；第一分离室(3)分为二个支路，一个支路通向离子通道(6)，另一个支路通向第一抽吸段(5)，第一分离室(3)还连接有第一电子接收器(4)；第二分离室(9)也分为二个支路，一个支路通向自由分子流通道(15)，另一个支路通向第二抽吸段(11)，第二分离室(9)还连接有第二电子接收器(10)；第一抽吸段(5)与试验舱(14)的上部连通，自由分子流通道(15)与位于试验舱(14)轴线的试验区连通，第二抽吸段(11)与试验舱(14)的下部连通；试验舱(14)内的上部和下部对称安装有低温泵(13)，试验舱(14)外安装有分子泵机组(12)；加热电离室(2)与进气口(1)连通。

2.根据权利要求1所述的用于稀薄气体动力学试验的自由分子流生成装置，其特征在于：所述的进气口(1)外接惰性气体气源、二氧化碳气源、氮气气源或空气气源。

3.根据权利要求1所述的用于稀薄气体动力学试验的自由分子流生成装置，其特征在于：所述的进气口(1)安装有调节阀和截止阀。

4.根据权利要求1所述的用于稀薄气体动力学试验的自由分子流生成装置，其特征在于：所述的加热电离室(2)的温度范围为室温～1000K。

5.根据权利要求1所述的用于稀薄气体动力学试验的自由分子流生成装置，其特征在于：所述的第一分离室(3)、第二分离室(9)和自由分子流通道(15)上均安装有压力传感器和温度传感器。

6.根据权利要求1所述的用于稀薄气体动力学试验的自由分子流生成装置，其特征在于：所述的分子泵机组(12)包括固定在试验舱(14)上的分子泵，以及通过管道连通的外置的前级真空机组。

7.根据权利要求1所述的用于稀薄气体动力学试验的自由分子流生成装置，其特征在于：所述的低温泵(13)为内装式低温泵，分为二层，内层低温泵面向试验区，运行介质为液氮；外层低温泵紧贴试验舱(14)内壁面，运行介质为液氦。