[实用新型]一种扩散炉炉体引线有效

专利信息
申请号: 202021635110.2 申请日: 2020-08-09
公开(公告)号: CN212875279U 公开(公告)日: 2021-04-02
发明(设计)人: 刘明利;杨垒;杨浩显 申请(专利权)人: 青岛赛尔微电子有限公司
主分类号: H02G3/02 分类号: H02G3/02;H02G11/02;B65H75/44
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 扩散 炉炉体 引线
【说明书】:

本实用新型涉及扩散炉技术领域,且公开了一种扩散炉炉体引线,解决了一般的扩散炉炉体引线在使用的过程中,不能够根据实际的需要调节其的长度,且在安装时线路较为凌乱的问题,其包括壳体,所述壳体上螺纹安装有盖体;本实用新型,通过设置的转盘、转轴、绕线轮和压板等的配合使用,在第一导向轮和第二导向轮的作用下,能够轻松的将引线本体从通槽内拉出,拉动需要的长度后,通过凸块拧动盖体,盖体对压板产生挤压,压板对通槽内的引线本体进行固定,避免其发生松动现象,然后即可完成对引线本体的调节,本申请在使用时可以通过转盘带动转轴转动,从而通过转轴上的绕线轮对引线本体进行收卷,操作简单,能够避免引线本体的线路凌乱。

技术领域

本实用新型属于扩散炉技术领域,具体为一种扩散炉炉体引线。

背景技术

扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一,它的主要用途是对半导体进行掺杂,即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域,其在进行加热时,需要通过引线进行连接。

一般的扩散炉炉体引线在使用的过程中,不能够根据实际的需要调节其的长度,故不便于对其进行接线处理,且在安装时线路较为凌乱。

发明内容

针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本实用新型提供一种扩散炉炉体引线,有效的解决了一般的扩散炉炉体引线在使用的过程中,不能够根据实际的需要调节其的长度,且在安装时线路较为凌乱的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种扩散炉炉体引线,包括壳体,所述壳体上螺纹安装有盖体,壳体的中心处转动连接有转轴,转轴上固定连接有绕线轮,绕线轮上开设有凹槽,凹槽的内部固定连接有绕线柱,绕线柱的外部缠绕有引线本体,引线本体的两端均固定连接有引线接头,壳体的内部开设有通槽。

优选的,所述通槽的内部对称转动连接有第一导向轮,且第一导向轮分别位于引线本体的两边侧。

优选的,所述壳体的内部还对称固定连接有弹性块,弹性块的顶端固定连接有压板,且压板位于引线本体的顶端。

优选的,所述壳体的内部还对称转动连接有第二导向轮,且第二导向轮位于靠近通槽的方向。

优选的,所述转轴的一端固定连接有转盘,转盘的外壁开设有防滑槽。

优选的,所述盖体的中部开设有安装槽,盖体上还对称固定连接有凸块。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

在工作中,通过设置的转盘、转轴、绕线轮和压板等的配合使用,当需要调节引线本体的长度时,首先拧松盖体,使压板不在对其进行固定,然后拉动引线本体,在第一导向轮和第二导向轮的作用下,能够轻松的将引线本体从通槽内拉出,拉动需要的长度后,通过凸块拧动盖体,盖体对压板产生挤压,压板对通槽内的引线本体进行固定,避免其发生松动现象,然后即可完成对引线本体的调节,便于对其进行接线,本申请在使用时可以通过转盘带动转轴转动,从而通过转轴上的绕线轮对引线本体进行收卷,操作简单,能够避免引线本体的线路凌乱。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型的壳体安装结构示意图;

图3为本实用新型的图2中A处放大结构示意图;

图中:1、壳体;2、盖体;3、转轴;4、绕线轮;5、凹槽;6、绕线柱;7、引线本体;8、引线接头;9、通槽;10、第一导向轮;11、弹性块;12、压板;13、第二导向轮;14、转盘;15、安装槽;16、凸块。

具体实施方式

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