[实用新型]一种退火炉的用防护装置

说明书

本实用新型属于退火炉的用防护装置技术领域，尤其为一种退火炉的用防护装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有立柱，所述立柱的顶端固定连接有顶板，所述顶板的一个侧面开设有U形槽；本实用新型，通过设置卡杆和卡槽，拉动卡杆使卡杆脱离卡槽和卡孔，使卡板脱离U形槽，方便对防护装置进行拆卸和收集，将第一固定板活动连接在U形槽内，通过松开卡杆，使卡杆穿过卡孔卡接在卡槽内，方便对多个防护装置进行组合，使用时更加的方便，通过设置转板，转动转板，使转轴带动螺纹柱转动，使滑块在滑槽内活动，使螺纹筒活动，使底板与地面接触，方便对装置进行停置和固定，通过设置万向轮，方便对装置进行移动更加的方便。

技术领域

本实用新型属于退火炉的用防护装置技术领域，具体涉及一种退火炉的用防护装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，因退火炉的体积较大，在退火炉设备旁常需要使用到多个防护栏，但现有的防护栏在进行移动和停置时较为不便，且在对多个护栏进行组合固定时较为不便。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种退火炉的用防护装置，具有方便移动和固定的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种退火炉的用防护装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有立柱，所述立柱的顶端固定连接有顶板，所述顶板的一个侧面开设有U形槽，所述顶板的另一侧固定连接有第一固定板，所述第一固定板的表面开设有卡孔，所述U形槽的内壁上开设有卡槽，所述顶板的顶部开设有活动孔，所述活动孔内活动连接有卡杆，所述卡杆表面套接有弹簧，所述卡杆穿过卡孔卡接在卡槽内，所述底座的两个侧面均固定连接有第二固定板，所述第二固定板的顶部开设有圆孔，且圆孔的内壁上固定连接有固定筒，所述固定筒的内壁上固定连接有轴承，所述轴承内穿设有转轴，所述转轴的一端固定连接有螺纹柱，所述螺纹柱的表面螺纹连接有螺纹筒，所述螺纹筒的另一端固定连接有底板，所述转轴的另一端固定连接有转板，所述底座的底部固定连接有支撑腿，所述支撑腿的底部设置有万向轮。

优选的，所述弹簧的一端固定连接在顶板上，所述弹簧的另一端固定连接在卡杆上。

优选的，所述螺纹筒的表面固定连接有滑块，所述固定筒的内壁上开设有滑槽，所述滑块活动连接在滑槽内。

优选的，所述立柱的数量为多个，多个立柱的表面固定连接有同一个警示牌。

优选的，所述底座的底部设置有橡胶垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型，通过设置卡杆和卡槽，拉动卡杆使卡杆脱离卡槽和卡孔，使卡板脱离U形槽，方便对防护装置进行拆卸和收集，将第一固定板活动连接在U形槽内，通过松开卡杆，使卡杆穿过卡孔卡接在卡槽内，方便对多个防护装置进行组合，使用时更加的方便，通过设置转板，转动转板，使转轴带动螺纹柱转动，使滑块在滑槽内活动，使螺纹筒活动，使底板与地面接触，方便对装置进行停置和固定，通过设置万向轮，方便对装置进行移动更加的方便。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型正视剖面的结构示意图；

图2为本实用新型中A处放大的结构示意图；

图3为本实用新型中B处放大的结构示意图；