[实用新型]一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置有效
| 申请号: | 202021622021.4 | 申请日: | 2020-08-06 |
| 公开(公告)号: | CN212410290U | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
| 发明(设计)人: | 郑伟扬;周宇 | 申请(专利权)人: | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
| 主分类号: | G01N3/08 | 分类号: | G01N3/08;G01N3/04;G01N3/06 |
| 代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 徐芝强;肖明芳 |
| 地址: | 755099 宁*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶硅 抗拉强度 检测 装置 | ||
1.一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置,其特征在于,包括两个夹具(1)、四个石墨卡瓣(2)和两个拉力机拉头(4);
每个夹具(1)通过两片对称的夹具框(11)抱合后四周固定而成;夹具框(11)内壁设有用于放置石墨卡瓣(2)的凹槽(14);
所述石墨卡瓣(2)两个为一组,抱合于对应夹具(1)的凹槽(14)内;所述石墨卡瓣(2)的内壁设有卡合单晶硅棒(3)端部的凹槽;
所述单晶硅棒(3)由两端凸起的硅棒端部(32)以及中部的硅棒测试段(31)所组成;待测试的单晶硅棒(3)位于两侧的夹具(1)之间,两端的硅棒端部(32)分别卡合于两侧的夹具(1)内;
所述夹具(1)远离单晶硅棒(3)的端部,分别与对应的拉力机拉头(4)固定连接,通过两个拉力机拉头(4)施加的水平拉力,拉动两个夹具(1)朝着水平相反方向移动,直至将单晶硅棒(3)的硅棒测试段(31)拉断。
2.根据权利要求1所述的单晶硅棒抗拉强度的检测装置,其特征在于,所述夹具框(11)的四个边角处分别设有固定块(12),两个夹具框(11)抱合后,通过固定螺栓(13)贯穿固定块(12)后进行固定。
3.根据权利要求2所述的单晶硅棒抗拉强度的检测装置,其特征在于,两个石墨卡瓣(2)抱合后为圆台锥形状,所述凹槽(14)与石墨卡瓣(2)相匹配,长度大于石墨卡瓣(2);所述石墨卡瓣(2)的侧壁与凹槽(14)内壁相贴合,并能够在凹槽(14)内前后移动。
4.根据权利要求3所述的单晶硅棒抗拉强度的检测装置,其特征在于,所述单晶硅棒(3)的两端硅棒端部(32)同样为圆台锥形状,并能够在石墨卡瓣(2)的凹槽内沿纵向转动。
5.根据权利要求4所述的单晶硅棒抗拉强度的检测装置,其特征在于,夹具(1)远离单晶硅棒(3)的端部设有安装柱(15),另一端设有用于硅棒测试段(31)穿过的圆孔(16);所述拉力机拉头(4)的自由端设有一外凸的卡快(41),安装柱(15)上对应设置有卡槽,卡快(41)卡入安装柱(15)的卡槽后,通过安装螺栓(17)穿过固定,实现拉力机拉头(4)与夹具(1)端部的固定。
6.根据权利要求3所述的单晶硅棒抗拉强度的检测装置,其特征在于,所述石墨卡瓣(2)内的凹槽与硅棒端部(32)锥面相同,均为25-30°;石墨卡瓣(2)外壁锥面为30°。
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