[实用新型]一种真空镀膜用升华炉有效
| 申请号： | 202021601302.1 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN213232472U | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 渠艳良;李雷 | 申请（专利权）人： | 派珂纳米科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人： | 范圆圆 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 升华 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜用升华炉，包括升华管以及用于给升华管加热升华的加热炉，其特征在于：所述升华管的一端设有进料口以及与进料口相匹配的端盖，升华管的另一端设有出气口，所述出气口的内侧设有隔热滤芯；所述加热炉滑动套设在所述升华管外，加热炉的内壁上设有一圈加热片。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用升华炉，其特征在于：所述加热片的长度略大于所述升华管。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用升华炉，其特征在于：所述升华管内设有升华舟，所述升华舟靠近所述进料口的一端设有把手。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用升华炉，其特征在于：所述端盖的内侧设有密封垫。
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