[实用新型]一种微波等离子体化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括：相互连接的波导装置(1)和反应腔(2)，其中，

所述波导装置(1)包括微波天线(10)，所述微波天线(10)包括进气管(101)、水冷结构(102)、天线下盘(103)和分气盘(104)，其中，

所述水冷结构(102)套设在所述进气管(101)的外部；

所述分气盘(104)设置在所述天线下盘(103)的下端；

所述进气管(101)的下端穿过所述天线下盘(103)与所述分气盘(104)连接；

所述反应腔(2)设置在所述波导装置(1)下方，所述天线下盘(103)位于所述反应腔(2)内部。

2.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述水冷结构(102)包括进水管(1021)、出水管(1022)和水套轴(1023)，其中，

所述进水管(1021)和所述出水管(1022)由内到外依次套设在所述进气管(101)的外部；

所述进水管(1021)和所述出水管(1022)的下端与所述天线下盘(103)连接；

所述水套轴(1023)套接在所述出水管(1022)的外部，所述水套轴(1023)上开设有进水口(10231)和出水口(10232)，所述进水口(10231)与所述进水管(1021)连通，所述出水口(10232)与所述出水管(1022)连通，且位于所述进水口(10231)的下方。

3.根据权利要求2所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述出水管(1022)与所述天线下盘(103)上表面的直径比为1:15-1:20。

4.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述天线下盘(103)呈圆台状，其母线与水平面的夹角为15°-20°。

5.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述分气盘(104)上设置有均匀排列的分气孔。

6.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，还包括冷却罩(3)，位于所述波导装置(1)的下方，所述冷却罩(3)与所述反应腔(2)连接，用于对所述反应腔(2)进行风冷散热。

7.根据权利要求6所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述冷却罩(3)包括均风板(301)、引风道(302)、风机(303)和连接管(304)，其中，

所述均风板(301)设置在所述反应腔(2)上方，所述均风板(301)上设置有若干通风孔(3011)；

所述引风道(302)与所述均风板(301)连接；

所述风机(303)通过所述连接管(304)与所述引风道(302)连接。

8.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，还包屏蔽罩(4)，围设在所述反应腔(2)外部，以防止所述反应腔(2)内的电磁辐射泄漏，所述屏蔽罩(4)上设置有若干通孔(401)。

9.根据权利要求8所述的微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述通孔(401)的直径小于或等于需屏蔽电磁波波长的1/10。